抽空加熱排氣工藝這是一種普遍用于擴(kuò)散泵系統(tǒng)獲得超高真空的排氣方法。它與單純排氣工藝不同的是，在抽氣到低真空或高真空時(shí)，容器進(jìn)行加熱除氣。低溫容器的加熱方法可分為內(nèi)加熱和外加熱及內(nèi)外全面加熱。其中低真空時(shí)的全面加熱抽氣效果較好。
　　
　　低溫容器采用該工藝排氣時(shí)，要比單純排氣工藝所需要的抽氣時(shí)間有數(shù)量級(jí)的縮短，而且吸附劑活化要好一些。因此它是從多層絕熱問世以來，一直到20世絕70年代初被普遍采用的排氣方法。
　　
　　該工藝效果較好的原因是溫度作用：①提高材料溫度后，可縮短分子在表面的吸附時(shí)間，增加材料內(nèi)部氣體的擴(kuò)散系數(shù)，大大加速絕熱材料和吸附劑的放氣過程。②提高溫度，除了使擴(kuò)散系數(shù)增加之外，還因絕熱層內(nèi)的材料放氣加快，層與層和空間的壓差也增大，從而使絕熱層的滲透量增加，提高了“滲透抽氣”能力。③當(dāng)空間氣體分子的溫度升高時(shí)，分子運(yùn)動(dòng)速度加快，穿過絕熱層窄縫抽氣通道和抽氣嘴的能力增大，使絕熱層和抽氣口的流導(dǎo)稍有增加。
　　
　　該工藝存在的問題是：①加熱是在抽氣過程中進(jìn)行的。由于容器的超絕熱性能，加熱非常困難，使得絕熱材料和吸附劑升溫到允許z*高溫度的時(shí)間長(zhǎng)，而且溫度分布不均勻，限制了述溫度作用的影響。②未能解決前述的水蒸氣抽出困難的問題。③抽氣時(shí)間長(zhǎng)。④吸附劑再活化困難。⑤存在油蒸氣返流的影響。