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離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—真空系統(tǒng)

2014-06-06 06:04:00  閱讀()

　　真空系統(tǒng)由臥式真空室、離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—真空系統(tǒng)200高真空插板閥、離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—真空系統(tǒng)200單百葉窗式水冷障板，K-200T油擴(kuò)散泵、儲(chǔ)氣罐、三通閥、電磁帶放氣真空截止閥、2XZ-8型高速旋片式機(jī)械泵。電磁放氣閥、真空管道及真空檢測(cè)系統(tǒng)(ZRC-1J電阻磁放電復(fù)合真空計(jì)、電阻規(guī)、冷規(guī))等組成。其真空系統(tǒng)示意圖如圖10-43(a)、(b)所示。
離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—真空系統(tǒng)
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