離子束刻蝕結構特點—工件臺

　　工件臺是裝卡刻蝕工件用的。由于被刻蝕的工件種類和要求不同，所以工件臺的種類亦不同。一般為平移和旋轉兩種工件臺；按水冷方式又分為直接水冷和間接水冷兩種。
　　
　　圖10-40給出了一維平移工件臺結構原理圖；圖10-41給出了旋轉、平移、傾斜的三維工件臺結構原理圖。

　　平移工件臺采用步進電機直聯(lián)絲桿傳動結構。90BF006型步進電機通過威爾遜高真空轉動密封機構與絲桿直聯(lián)、絲桿再轉動固定在工件臺底部的螺母使工件臺平移；絲桿和螺母的螺距為1mm；工件臺z*大行程為150mm，并由裝在兩端的行程開關加以限位；工件臺要求定位精度為5μm，它主要依靠絲桿和螺母的（有松緊調節(jié)機構）加工精度來保證。滑潤油用DC-274擴散泵油，工件臺內部銑成蛇形槽直接通水冷卻，降低了工件溫度，防止晶片受熱碎裂和光刻膠焦化。工件臺的前面還備有可拆卸的光闌裝架。
　　
　　三維直接水冷旋轉工件臺由SY-5力矩電機、工件臺、蝸輪蝸桿傾斜機構、絲桿驅動平移機構等組成。直接水冷工件臺直徑為100mm，旋轉由力矩電機通過齒輪來實現(xiàn)。轉速從5r/min～30r/min連續(xù)可調，正反均可；傾斜角度，與束垂直的水平方位是0°±90°，是通過蝸輪蝸桿實現(xiàn)的；平移距離150mm，是通過轉動絲桿實現(xiàn)的；直接水冷是通過空心的軸和碗形橡膠密封圈實現(xiàn)的。這種直接水冷轉動工件臺z*大的優(yōu)點是在刻蝕的過程中，在真空條件下，通過轉動手輪可以改變距離和傾斜角度。直接水冷降低了工件臺靶面的溫度，可以提高器件的加工刻蝕質量。