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半導(dǎo)體生產(chǎn)中采用的CVD原料

2014-05-23 06:22:00  閱讀()

　　CVD原料一般應(yīng)選擇常溫下是氣態(tài)的物質(zhì)或具有較高蒸氣壓的液體或固體，原料有氫化物、鹵化物、有機(jī)金屬化合物等。表10-19給出了制備CVD薄膜原料及其反應(yīng)生成物。

半導(dǎo)體生產(chǎn)中采用的CVD原料
標(biāo)簽： 半導(dǎo)體CVD  

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