真空鍍膜:s槍磁控濺射鍍膜

　　真空鍍膜中,s槍磁控濺射鍍膜不僅具有磁控濺射共同的“低溫”、“高速”的特點(diǎn)，而且由于濺射靶有特殊靶形和冷卻方式，還具有靶材利用率高、膜厚分布均勻、靶功率密度大和易于更換靶材等優(yōu)點(diǎn)。
　　
　　典型的s槍磁控濺射靶結(jié)構(gòu)如圖10-16所示。它是由倒錐形陰極靶、水冷套、輔助陽(yáng)極、永磁體、極靴、可拆卸屏蔽環(huán)和接地屏蔽罩等構(gòu)件組成。陰極靶接幾百伏的負(fù)電位，鍍膜室壁接地，輔助陽(yáng)極接地或接幾十伏的正電位，基片通常接地（可以懸浮或偏壓）。環(huán)狀磁體在陰極靶表面形成曲線形磁場(chǎng)，與電場(chǎng)構(gòu)成正交電磁場(chǎng)。電子在電磁場(chǎng)中作擺線加螺旋線的復(fù)合運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致異常輝光放電。
　　
　　輔助陽(yáng)極能夠吸收低能電子，減少電子對(duì)基片的轟擊。水冷套與靶材之間應(yīng)具有適當(dāng)?shù)呐浜祥g隙：當(dāng)靶工作時(shí)，由于受熱而緊緊地與水冷套貼在一起，保證散熱效果；當(dāng)靶不工作時(shí)，二者之間保持一定間隙，以便能夠方便地更換靶材?？刹鹦镀帘苇h(huán)能夠防止非靶材構(gòu)件的濺射，并且可以拆卸下來(lái)清除沉積其上的膜層。其余構(gòu)件的作用與其它磁控靶的構(gòu)件相同。