真空元件：分子篩吸附阱

　　分子篩具有特別大的吸附表面面積，用分子篩吸附來自泵的返流蒸氣，效果比無氧銅箔阱要好。一般采用13X型或4A型分子篩，能獲得10-8Pa~10-10Pa的超高真空，有效工作時間長達75d。圖7-15為玻璃分子篩吸附阱。
　　
　　金屬超高真空系統(tǒng)用的大型分子篩吸附阱的結(jié)構(gòu)如圖7-16（a）所示。烘烤后能獲得4×10-8Pa的極限真空（使用Octoil-S擴散泵油），在10-7Pa以下工作能維持70d，如圖7-16(b)所示。也可利用泵與真空室連接的直角管道壁作為分子篩吸附阱，其結(jié)構(gòu)如圖7-17所示。阱內(nèi)裝有13X分子篩250g，經(jīng)450℃高溫烘烤48h后，能獲得4×10-8Pa的極限真空。在1×10-7Pa以下工作可以維持2周，6周后壓力上升到1×10-6Pa。
　　
　　用裸規(guī)和標準規(guī)管同時測量帶有分子篩阱的真空室的真空度時，二種規(guī)的壓力讀數(shù)會出現(xiàn)較大的偏差（達一個多數(shù)量級），此種現(xiàn)象稱為貝萊爾(Blears)效應，如圖7-18所示。
　　
　　貝萊爾效應主要是由標準規(guī)管的細長管道所引起的。油分子通過細長管道要遲延一段時間（由于油分子的蒸發(fā)熱比較大，平均滯留時間長），因而標準規(guī)管內(nèi)油蒸氣分壓達到與真空室油蒸氣分壓相同值時，需要長達數(shù)十小時。
　　
　　低壓下，分子通過導管的遲延時間t為