銅箔阱吸附油蒸氣的現(xiàn)象是屬于物理吸附過程,因而要求有較大的吸附表面。典型的銅箔阱如圖7-12(a-c)所示。它是用厚0.76mm、寬152mm的無氧高導(dǎo)銅滾壓成深0.63mm的波狀板,再卷起來放在真空室和擴散泵之間的管道中做成的。真空室和銅箔阱經(jīng)450℃高溫去氣后,在室溫下,18d內(nèi)可以維持10-9Pa的真空度,30d后壓強升高到相當(dāng)于擴散泵油的飽和蒸氣壓值(如圖7-12(d)所示)。
銅箔阱的串聯(lián)、并聯(lián)及銅箔阱長度與有效工作時間關(guān)系如圖7-12所示。
根據(jù)圖7-12(d)的實測數(shù)據(jù),可以得出計算銅箔阱在1×10-7Pa以下的有效工作時間的經(jīng)驗公式
真空元件:銅箔阱的概述
2014-04-30 06:31:00 閱讀()
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