真空室：粗抽泵抽速確定

　　各種低溫泵、低溫吸附泵(不含分子篩泵)、濺射離子泵、鈦泵等均需要在某種預(yù)真空下才能啟動(dòng)。此時(shí)，系統(tǒng)所需預(yù)抽泵的抽速不僅與真空室容積有關(guān)，同時(shí)與所設(shè)定的預(yù)抽時(shí)間有關(guān)。預(yù)抽泵的抽速用下式計(jì)算

　　
　　其余符號(hào)同式(9-11)。
　　
　　對(duì)于大型真空系統(tǒng)，用主泵配置的前級(jí)泵作為粗抽泵時(shí)不可取。因?yàn)橛袝r(shí)為了縮短粗抽時(shí)間，前級(jí)泵需配置較大，長(zhǎng)期運(yùn)行耗能很高，很不經(jīng)濟(jì)。為此，大型系統(tǒng)均配有專(zhuān)用的粗抽泵。其抽速計(jì)算同式(9-26)。