①空載時(shí)真空室所需要達(dá)到的極限真空度。
根據(jù)真空室所需要建立的極限真空確定主泵的類型,選取主泵的極限真空要比真空室的極限真空高,通常高半個(gè)數(shù)量級(jí)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
?、诟鶕?jù)真空室進(jìn)行工藝生產(chǎn)(或?qū)嶒?yàn))時(shí)所需要的工作壓力選主泵。
這項(xiàng)要求比較重要,因此要求能夠掌握主泵的z*佳抽速的壓力范圍,各類真空泵工作壓力范圍及z*佳工作壓力由表9-2及表9-3給出。真空室的工作壓力一定要保證在主泵z*佳抽速壓力范圍內(nèi),所需要的主泵抽速由工藝生產(chǎn)中放出的氣量、系統(tǒng)漏氣量及所需要的工作壓力來確定。
a.計(jì)算主泵的有效抽速。
根據(jù)真空室要求的工作壓力pg,真空室的總氣體量Q,計(jì)算泵的有效抽速
由式(9-19a)可見,為了增大有效抽速S必須增大流導(dǎo)U,為此連接管道要短而粗。管道直徑不能小于主泵入口直徑,目前各種真空系統(tǒng)抽氣管道的直徑通常等于主泵人口直徑(特殊情況可大于抽氣口的直徑,如:由于管道上設(shè)置冷阱,為增大流導(dǎo)而使管道局部加粗)。
在計(jì)算主泵有效抽速時(shí),通常將按式(9-17)計(jì)算出的主泵有效抽速S增大20%~3096或更大。
③根據(jù)被抽氣體種類、成分、溫度以及氣體含灰塵雜質(zhì)情況選主泵。蒸汽流泵對(duì)不同種類氣體的理論抽速詳見附錄(一)中的表(三十四)所示。
?、芨鶕?jù)真空室對(duì)油污染要求的不同,來選擇有油、無油或半無油真空泵作主泵。
?、莞鶕?jù)投資及日常維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)的經(jīng)濟(jì)指標(biāo)來選擇。
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