隔膜式真空閥型式、性能參數(shù)

　　隔膜式真空閥是利用閥桿將橡皮膜直接壓在閥座上用來截止或接通真空系統(tǒng)。閥體采用鋁合金鑄造，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，質(zhì)量輕，密封性能良好。采用丁腈橡膠隔膜，適用于前級(jí)和預(yù)抽管道上及溫度為-25℃～80℃的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠隔膜，可用于高真空系統(tǒng)，使溫度范圍為-30℃—150℃。
　　
　　①上海閥門二廠生產(chǎn)的GM高真空隔膜閥有GM型、GM-C型、GM-C-KF型、GM-D-H（工）型及GM-D-H(Ⅱ)型五種，其外形尺寸和主要技術(shù)性能見表7-17～表7-21。
　　
　　GM型高真空隔膜閥供接通或切斷真空系統(tǒng)之用。連接管焊接式真空隔膜閥更是溴化鋰制冷設(shè)備中的理想配件。適用介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。 　　
　?、谏虾Ｈf可姆高科技有限公司生產(chǎn)的GM型真空隔膜閥有GM-B型、GM-C型、GMH-A型和氣動(dòng)型GMQ-A型、GMQ-B型、GMQ-C型六種。其外形尺寸和主要技術(shù)指標(biāo)性能見表7-22和表7-23。
　　
　?、凵虾Ｈf可姆高科技有限公司生產(chǎn)的GMD型氣動(dòng)真空隔膜閥是以壓縮空氣為動(dòng)力，通過氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)開、關(guān)真空閥門，可廣泛用于自動(dòng)控制的真空設(shè)備中。其氣動(dòng)控制方式有：兩位兩通，彈簧復(fù)位，常閉；兩位兩通，彈簧復(fù)位，常開和兩位兩通，雙作用執(zhí)行機(jī)構(gòu)三種。閥體材料為304、316L，漏率≤1×10-6Pa·L/s，閥門壽命≥3萬次。其外形尺寸見表7-24。
　　
　?、苌蜿柨茖W(xué)儀器研制中心有限公司生產(chǎn)的隔膜閥DM-1型，其主要技術(shù)性能參數(shù)和外形尺寸見表7-25。