容積真空泵性能測(cè)試方法（一）

　　本標(biāo)準(zhǔn)等效采用國際標(biāo)準(zhǔn)IS01607/1 -1980《容積真空泵性能測(cè)量方法——第一部分：體積流率（抽速）的測(cè)量》和IS0 1607/Ⅱ-1980《容積真空泵性能測(cè)量方法——第二部分：極限壓力的測(cè)量》。
1．主題內(nèi)容與適用范圍
　　本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了容積真空泵抽氣速率、極限壓力、消耗功率和工作溫度的測(cè)量方法。
　　本標(biāo)準(zhǔn)適用于極限壓力低于lOOPa，并能直接向大氣空間排氣的容積真空泵（以下簡稱泵）的性能測(cè)量。
2．術(shù)語
　　①抽氣速率（體積流率）  在理想狀態(tài)下，單位時(shí)間內(nèi)流經(jīng)泵口的氣體體積。實(shí)際應(yīng)用中，抽氣速率(S)定義為：泵按規(guī)定條件運(yùn)轉(zhuǎn)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量(q)與規(guī)定位置上的平衡壓力(p)的比值，簡稱抽速，[L/s]。即：

　　②極限壓力泵按規(guī)定條件運(yùn)轉(zhuǎn)，在不引入氣體的試驗(yàn)罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的z*低壓力。
　?、墼囼?yàn)罩指裝在泵口上的具有規(guī)定形狀和容積的容器。經(jīng)過計(jì)量的試驗(yàn)氣體通過它充人泵內(nèi)，其上裝有微調(diào)閥和真空計(jì)。
　?、芟墓β时冒匆?guī)定條件運(yùn)轉(zhuǎn)，泵溫平衡后，對(duì)應(yīng)于泵入口壓力所需要的功率。
　?、莨ぷ鳒囟缺冒匆?guī)定條件運(yùn)轉(zhuǎn)并在極限壓力下，在排氣閥附近測(cè)得的平衡溫度。
3．測(cè)量裝置
　?、贉y(cè)試罩  罩為圓筒形（如圖3-90(a)所示）。其內(nèi)徑為D，高為1.5D，試驗(yàn)氣體入口位于罩的軸線上并背向泵口，與法蘭平面距離為D。真空計(jì)（或規(guī)管）連接管距法蘭平面為0.5D，并垂直于罩軸線。
　　罩的容積VD至少應(yīng)是泵的一個(gè)壓縮周期掃過容積Vp的5倍。罩與泵口之間需要連接一個(gè)長度不超過0.5D的異徑管接頭，如圖3-90(b)所示。不同規(guī)梏的泵適用的試驗(yàn)罩由表3—125給出。
　?、谡婵沼?jì)  根據(jù)所測(cè)壓力，選用不同種類和精度的真空計(jì)。其校準(zhǔn)精度為：壓力高于或等于1Pa，在±5%以內(nèi)；壓力低于1Pa，在±10%以內(nèi)。接輔助氣閥
　　表3-125不同規(guī)格的泵適用的試驗(yàn)罩參數(shù)

　?、哿髁坑?jì)根據(jù)所測(cè)流量，選用不同種類和規(guī)格的流量計(jì)。其測(cè)量精度為：
　　流量大于1W，在±306以內(nèi)；
　　流量介于1W—10-4W之間，在±5%以內(nèi)；
　　流量小于10 - 4W，在±10%以內(nèi)。
　?、芄β时砗碗娏骰ジ衅鞴β时砗碗娏骰ジ衅鲬?yīng)具有一級(jí)精度，并具有計(jì)量部門簽發(fā)的有效證書。
　?、轀囟扔?jì)測(cè)量工作溫度的溫度計(jì)誤差不大于±1℃。