3.附錄A氣體流率及抽氣速率的測試與計算【標(biāo)準(zhǔn)的附錄】
(1)采用滴管裝置進行測試與計算
按本標(biāo)準(zhǔn)(1)所述,泵按規(guī)定條件工作時對給定氣體的抽氣速率S,是通過測試罩的氣體流率Q除以測試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定
4.附錄B極限壓力的測定(標(biāo)準(zhǔn)的附錄)
如果極限壓力作為泵的獨立測試項目測試時,需按下述規(guī)定進行:
①擴散泵自加熱開始,連續(xù)工作不超過8h,讀取極限壓力值。讀表記數(shù)之前,應(yīng)按真空計的操作要求,對真空規(guī)管除氣8min。除氣后1h開始記錄讀數(shù),并保持規(guī)管連續(xù)工作,每隔10min記錄一次。z*后1h內(nèi)各次數(shù)的平均值,作為泵的極限壓力。
擴散噴射泵(油增壓泵)自加熱開始,連續(xù)工作5h,便可讀取極限壓力值。
②測量極限壓力所用真空計及其規(guī)管,應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)(2)中③的規(guī)定,但不用冷阱。
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