影響分子篩吸附泵性能的因素

　　(1)惰性氣體分壓的影響
　　
　　分子篩吸附泵從大氣開始抽氣所能達到的極限壓力，受到He、Ne等惰性氣體的分壓限制。干燥大氣成分和經(jīng)過分子篩泵抽氣后的殘余氣體成分，見表5-45和表5-46。


　　
　　采用兩級分子篩串聯(lián)抽氣或用其它手段降低惰性氣體分壓，可提高極限真空。
　　
　　預先用機械泵抽氣是降低惰性氣體分壓的z*簡便方法。例如1L的玻璃容器先用機械泵預抽到10-1Pa，然后用負荷率為0.055L/g的分子篩泵抽氣，30min壓力可降到1×10-4Pa;再用第二個分子篩泵繼續(xù)抽氣，10min后可獲得2×10-5Pa的極限真空。240L的金屬容器，用機械泵預抽到16Pa后，再用兩臺負荷率為1.4×104Pa·L/g的分子篩泵施行“二級抽氣”，2h后可達到9.6×10-4Pa的真空度。但是，利用機械泵進行預抽會帶來機械泵油的污染問題，將喪失“無油”的優(yōu)點。
　　
　　用高純度氮氣沖洗被抽系統(tǒng)，可降低惰性氣體分壓，提高極限真空。經(jīng)氮氣沖洗過的系統(tǒng)，用二級分子篩抽氣，能獲得10-3Pa數(shù)量級的真空。但比較麻煩，抽氣時間也相應地增長。
　　
　　用“二級抽氣”法也能降低惰性氣體的分壓。所謂“二級抽氣”就是先用第一級分子篩泵將容器抽到100Pa左右(一般為80Pa～600Pa)，關閉第一級分子篩的閥門，然后再啟動第二級分子篩泵。這樣，客器中一部分惰性氣體被“席卷”到第一級泵中，從而降低容器中的惰性氣體的分壓，使第二級泵可達到10-2Pa的極限真空。這是一種不增加其它輔助設備的簡單易行的辦法，但效果不如前兩種方法顯著。
　　
　　(2)起始壓力的影響
　　
　　實驗證明，分子篩在1×10-5Pa—l0-9Pa壓力范圍內，都有顯著的抽氣作用，但是在超高真空范圍內工作時，分子篩的起始壓力對極限真空的影響非常顯著，如圖5-72所示。
　　
　　(3)水氣對分子篩吸附泵的影響
　　
　　分子篩暴露在潮濕空氣中能大量吸收水分，195A分子篩可吸收O.1g—0.2g(相當于1.3×104Pa．L—2.6×104Pa·L)的水氣。吸附了大量水氣的分子篩，其吸氣能力大大降低。圖5—73為分子篩吸水后對剩余壓力的影響。

　　
　　為除去分子篩中已吸附的水氣，可采用在300℃—500℃下加熱再生的方法。再生時間為0.5h～2h左右。分子篩在300℃—350℃下反復再生200次左右，其吸氣能力將下降為原先吸氣能力的70%左右。此后，繼續(xù)再生2000次左右，性能不變。如圖5-74所示。