1.擴散泵油蒸氣的返流
擴散泵油蒸氣的返流可歸結(jié)為五種原因(如圖4-31所示):
①泵壁表面油膜和油滴的蒸發(fā)(如圖4-31①所示);
?、趪娮靽姵龅母咚儆驼魵饬髋龅奖帽诤蟮姆瓷?如圖4-31②所示);
③一級噴口表面的油膜及油滴的蒸發(fā)(如圖4-31③所示);
?、車娍谶吘壐咚儆驼魵饬鞯纳⑸?如圖4-31④所示);
?、菔覝叵掠脱乇帽诘谋砻孢w移(爬移)(如圖4-31⑤所示)。
2.氣體分子的反擴散
在擴散泵中,低真空端的氣體分子總有一些會進入到高真空端,特別是某些質(zhì)量較輕的氣體,如氫、氦、氘等反擴散較大,其中氫的反擴散z*大,可達10 ^- 3mg/h,氮的反擴散較小,約為10^ -7mg/h。
3.擴散泵油的裂化分解
擴散泵油分為兩種:礦物油,此種油熱穩(wěn)定性及抗氧化能力都較差,在室溫下的飽和蒸氣壓為10^-5Pa~10^-7Pa。另一種是硅油,熱穩(wěn)定性及抗氧化性都較好,室溫下的飽和蒸氣壓力10^-6Pa~l0^- 8Pa。
在金屬油擴散泵的鍋爐中,由于高溫、金屬催化作用以及油爆發(fā)式沸騰,使高分子的油裂化成低分子的碳氫化合物及輕的氣體(H2、CH4、C2H6等)。這些裂化后的氫和碳氫化合物的蒸氣壓很高,限制了擴散泵的極限真空。
此外,機械泵油返流到擴散泵中,也產(chǎn)生分裂物,使擴散泵的真空度受到影響。
4.真空泵的清潔度
清洗不干凈的真空泵,污染物質(zhì)會留在泵內(nèi)并重復循環(huán),影響泵的極限真空。
影響油擴散泵性能的因素
2014-02-24 06:49:00 閱讀()
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