國產(chǎn)鈦升華泵主要技術(shù)性能參數(shù)

　　
　　(2)鈦鉬合金絲式鈦升華器
　　
　　①北京中科科儀發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)的TSB型鈦升華器泵芯，主要由裝有鈦鉬絲的支座構(gòu)成。鈦鉬絲用螺釘固定，便于移動和更換，芯柱安裝在陶瓷密封法蘭上，可烘烤至400℃。
　　
　　外型尺寸圖如圖5-11、5-12所示。
　　
　?、谥袊茖W(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司生產(chǎn)的TSB型鈦升華泵芯外形及供電電
　　
　　源參數(shù)見表5-3。
　　
　　鈦升華泵芯的規(guī)格如下：
　　
　　每根鈦鉬絲的質(zhì)量／g                 3.84
　　
　　每個泵芯中的鈦鉬絲根數(shù)／根           3
　　
　　每根鈦鉬絲的含鈦量／g         3.84×85%
　　
　　工作壓力范圍／Pa              2～1×10-9

　　
　　TSB型鈦升華泵其每平方厘米鈦升華表面對各種氣體的抽速見表5-4。

　　
　　TSBD型鈦升華泵電源可方便有效地控制泵的工作。它分“手動模式”和“自動模式”兩種。對前者，操作者可根據(jù)系統(tǒng)真空度，任意調(diào)節(jié)鈦絲加熱電流（此電流值指示在面板的電流表上）和加熱時間。對后者，操作者只要旋轉(zhuǎn)面板上的時間繼電器，確定好鈦鉬絲加熱的間隔時間和加熱電流值，控制電源就可連續(xù)工作下去，自動控制鈦絲的升華量。其技術(shù)規(guī)格見表5-5。