(2)機(jī)械真空泵入口處應(yīng)安置壓差閥，當(dāng)機(jī)械泵停止后，立即將機(jī)械泵入口通大氣。防止泵油返流進(jìn)入到真空容器中。
(3)不要用機(jī)械泵將真空室直接抽至低于13pa壓強(qiáng)，否則機(jī)械泵油蒸氣容易返流進(jìn)入真空容器中。因?yàn)樵趬簭?qiáng)低于13pa時(shí)，會(huì)出現(xiàn)分子流流態(tài)，油蒸氣分子將返流到真空容器中而造成污染。如果在機(jī)械泵與真空容器之間設(shè)有冷凝捕集器，則允許機(jī)械真空泵抽到13Pa以下的壓力，這時(shí)捕集器可以防止油蒸氣進(jìn)入真空容器。
(4)不要使機(jī)械真空泵在大氣壓力下或較高壓力下連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作，否則電機(jī)會(huì)過(guò)熱，而且泵出口會(huì)噴出油霧。
(5)在擴(kuò)散泵(或油增壓泵)通大氣之前，應(yīng)該將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下泵油發(fā)生氧化。
(6)蒸氣流泵在加熱之前，應(yīng)供給冷卻水。而且泵應(yīng)該配備熱保護(hù)繼電器，當(dāng)發(fā)生停水事故時(shí)，能立即使加熱器斷電，并關(guān)閉入口閥門(mén)防止泵液因溫度過(guò)高而氧化。
(7)由于擴(kuò)散泵油返流在泵開(kāi)始工作和泵停止加熱階段特別嚴(yán)重，因此在開(kāi)泵前和停泵前應(yīng)將擴(kuò)散泵的入口的高真空閥門(mén)關(guān)閉，可以防止泵油返流到真空室。
(8)不要在壓力高于10-2pa時(shí)給冷阱加入液氮，這樣會(huì)導(dǎo)致凝結(jié)很多水氣。冷阱在使用前要把液氮阱的貯液罐中的所有水凝液都清除掉，以避免水凍結(jié)在阱內(nèi)。開(kāi)始抽氣時(shí)，z*好分步地加注液氮，這樣可使真空系統(tǒng)冷凝物主要捕集在阱的下部。當(dāng)達(dá)到高真空后，應(yīng)給阱加注液氮達(dá)到較高液面，以便大量捕集氣體。
(9)為了縮短抽空時(shí)間，當(dāng)真空室對(duì)大氣壓作短時(shí)間通氣時(shí)，使用干燥氮?dú)鉃楹?。把真空系統(tǒng)內(nèi)表面的濕氣減到z*小限度。通氣時(shí)應(yīng)在真空室一側(cè)用放氣閥門(mén)進(jìn)行放氣。不可以從擴(kuò)散泵出口的前級(jí)管道上通氣。
(10)使用熱陰極電離計(jì)時(shí)，應(yīng)該在真空室內(nèi)的壓力達(dá)到1.33×10-11pa時(shí)，再接通電離計(jì)的電源，防止因壓力過(guò)高而燒壞規(guī)管的陰極燈絲。
(11)當(dāng)真空系統(tǒng)停止工作時(shí)，應(yīng)使系統(tǒng)處于并保持在真空狀態(tài)下，但是機(jī)械泵要通大氣。
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