無油渦旋真空泵的技術與應用

上個世紀90年代初，世界上s*臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內(nèi)被推廣應用。無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點：

　?、?無油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
　?、?抽氣量大---雙渦旋盤結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；
　?、?抽氣效率高---帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；
　　④ 非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動?。?br /> 　?、?結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；
　　⑥ 體積小，維修方便，維護費用低；　　
　?、?采用空氣冷卻，無需水冷。

　　該渦旋真空泵主要應用于下述領域：

　?、?半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；
　?、?科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；
　?、?機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；
　?、?化學工業(yè)；
　　⑤ 醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；
　?、?包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。

　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術與產(chǎn)品。
　　本文總結了無油渦旋真空泵的技術發(fā)展與應用，內(nèi)容包括從渦旋技術的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術指標、特點、基本用途和實際應用方法；對無油渦旋真空泵技術有一個系統(tǒng)的介紹。