【康沃真空網(wǎng)】昆明物理研究所為了滿足國家安全戰(zhàn)略需求，于2020年啟動研制碲鎘汞分子束外延設(shè)備項目，對MBE設(shè)備的真空度、溫度、束流等關(guān)鍵控制技術(shù)進行了攻關(guān)，成功研制了一臺4英寸襯底的碲鎘汞分子束外延設(shè)備。2023年5月15日，受昆明物理研究所委托，由上海市真空學會組織的專家評審組在復(fù)旦大學光電研究院召開了由昆明物理所研制的“碲鎘汞分子束外延設(shè)備”技術(shù)成果鑒定會。

　　鑒定委員會由華東師范大學教授/亞太材料科學院孫卓院士、復(fù)旦大學微電子學院盧紅亮教授、上海大學平板顯示工程技術(shù)研究中心李喜峰教授，復(fù)旦大學光電研究院莫曉亮副研究員和上海市真空學會韓建華高級工程師等5名專家組成。鑒定委員會聽取了昆明物理研究所王善力研究員團隊研制的完成情況匯報，觀看了設(shè)備的視頻錄像。審閱了研制總結(jié)報告、相關(guān)應(yīng)用證明、階段驗收表、驗收規(guī)程、先進性說明、市場情況分析等報告資料。

　　經(jīng)鑒定委員會討論認為；碲鎘汞分子束外延設(shè)備的研制成功打破了該設(shè)備國外對中國的禁運，實現(xiàn)了國內(nèi)類似設(shè)備的首臺銷售，經(jīng)濟效益顯著。可滿足未來國內(nèi)對MBE設(shè)備的需求，填補了云南省在此類設(shè)備的空白，有力地支持了國內(nèi)半導體設(shè)備的發(fā)展。該碲鎘汞分子束外延設(shè)備技術(shù)指標達到設(shè)計要求，設(shè)備研制水平處于國內(nèi)一流，達到國際先進水平。建議該設(shè)備在真空行業(yè)內(nèi)加強推廣，為實現(xiàn)科技自立自強多作貢獻。