【康沃真空網(wǎng)】3月13日消息，據(jù)報道，國產(chǎn)半導體材料供應商晶瑞電材表示，公司KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)！

　　據(jù)晶瑞電材介紹，子公司瑞紅(蘇州)電子化學品股份有限公司的KrF光刻膠產(chǎn)品分辨率達到了 0.25~0.13μm 的技術要求，已通過部分重要客戶測試，KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)。

　　據(jù)了解，晶瑞電材是國內(nèi)最早從事光刻膠生產(chǎn)的企業(yè)之一，目前已經(jīng)取得合肥長鑫、士蘭微、揚杰科技、福順微電子、中芯國際等國內(nèi)企業(yè)的供貨訂單。

　　據(jù)晶瑞電材介紹，子公司瑞紅 ( 蘇州 ) 電子化學品股份有限公司憑借強大的研發(fā)實力和突出的產(chǎn)品優(yōu)勢，取得了下游客戶的認證，開拓并維系了一大批國內(nèi)外優(yōu)質客戶，構建了優(yōu)質的業(yè)務平臺并成功進入優(yōu)秀客戶的供應鏈。

　　作為芯片產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)——光刻膠，是由樹脂，感光劑，溶劑，光引發(fā)劑等組成的混合液態(tài)感光材料。原理是利用光化學反應，經(jīng)光刻工藝將所需要的微細圖形轉移到加工襯底上，來達到在晶圓上刻蝕出需的圖形的目的。如果把光刻機理解為一臺膠片相機，它要使用的膠片就是光刻膠。

　　按照曝光波長不同，光刻膠可以分為g線，i線、KrF、ArF、以及EUV幾種，其中KrF、EUV和ArF光刻膠主要被應用于集成電路，屬于高端光刻膠。由于在芯片生產(chǎn)中是不可或缺的重要原料，光刻膠也因此被稱為“半導體材料皇冠上的明珠”。

　　有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司KrF（248nm深紫外）光刻膠產(chǎn)品分辨率是否達到了0.25～0.13μm的技術要求？并且通過部分重要客戶測試?

　　晶瑞電材3月13日在投資者互動平臺表示，公司子公司瑞紅（蘇州）電子化學品股份有限公司的KrF光刻膠產(chǎn)品分辨率達到了 0.25～0.13μm 的技術要求，已通過部分重要客戶測試，KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)。