【康沃真空網(wǎng)】半導(dǎo)體零部件主要分類

　　半導(dǎo)體零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵構(gòu)成，據(jù)不完全統(tǒng)計，目前行業(yè)里關(guān)于半導(dǎo)體零部件的種類劃分尚未形成標(biāo)準(zhǔn)，目前主要有以下幾種分類方法。

　　按照典型集成電路設(shè)備腔體內(nèi)部流程來分，零部件可以分為五大類：電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類。其中電源和射頻控制類包括射頻發(fā)生器和匹配器、直流/交流電源等。氣體輸送類主要包括流量控制器、氣動部件、氣體過濾器等。真空控制類包括干泵/冷泵/分子泵等各種真空泵、控制閥/鐘擺閥等各類閥件、壓力計以及O-Ring密封圈。溫度控制類則包括加熱盤/靜電吸盤、熱交換器及升降組件。傳送裝置類包括機械手臂、EFEM、軸承、精密軌道、步進馬達等。

　　按照半導(dǎo)體零部件的主要材料和使用功能來分，可以將其分為十二大類，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、過濾部件、運動部件、電控部件以及其他部件。其中各大類零部件還包括若干細(xì)分產(chǎn)品，例如在真空件里就包括真空規(guī)（測量工藝真空）、真空壓力計、氣體流量計（MFC）、真空閥件、真空泵等多種關(guān)鍵零部件。

　　按照半導(dǎo)體零部件服務(wù)對象來分，半導(dǎo)體核心零部件可以分為兩種，即精密機加件和通用外購件。精密機加件通常由各個半導(dǎo)體設(shè)備公司的工程師自行設(shè)計，然后委外加工，只會用于自己公司的設(shè)備上，如工藝腔室、傳輸腔室等，國產(chǎn)化相對容易，一般對其表面處理、精密機加工等工藝技術(shù)的要求較高；通用外購件則是一些經(jīng)過長時間驗證，得到眾多設(shè)備廠和制造廠廣泛認(rèn)可的通用零部件，更加具有標(biāo)準(zhǔn)化，會被不同的設(shè)備公司使用，也會被作為產(chǎn)線上的備件耗材來使用，例如硅結(jié)構(gòu)件、O-Ring密封圈、閥門、規(guī)（Gauge）、泵、Face plate、氣體噴淋頭Shower head等，由于這類部件具備較強的通用性和一致性，并且需要得到設(shè)備、制造產(chǎn)線上的認(rèn)證，因此國產(chǎn)化難度較高。

　　表1總結(jié)了在設(shè)備及產(chǎn)線上應(yīng)用數(shù)量較多的主要零部件產(chǎn)品以及其主要服務(wù)的半導(dǎo)體設(shè)備。

　　表1. 主要零部件產(chǎn)品及其主要服務(wù)的半導(dǎo)體設(shè)備

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　　全球半導(dǎo)體零部件領(lǐng)軍供應(yīng)商

　　根據(jù)VLSI的數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體零部件領(lǐng)軍供應(yīng)商前10中（見表2），包括有蔡司ZEISS（光學(xué)鏡頭），MKS儀器（MFC、射頻電源、真空產(chǎn)品），英國愛德華Edwards（真空泵），Advanced Energy（射頻電源），Horiba（MFC），VAT（真空閥件），Ichor（模塊化氣體輸送系統(tǒng)以及其他組件），Ultra Clean Tech（密封系統(tǒng)），ASML（光學(xué)部件）及EBARA（干泵）。

　　表2.全球前十大半導(dǎo)體零部件廠商排名