【康沃真空網(wǎng)】干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛，主要有低壓化學(xué)氣相沉積在制備多晶硅、半導(dǎo)體蝕刻工藝。清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實(shí)用標(biāo)簽。

　　但在實(shí)際的干式真空泵應(yīng)用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過(guò)程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對(duì)顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過(guò)過(guò)濾設(shè)備來(lái)予以解決。

　　此外即使是對(duì)顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵，為防止意外，也需要盡量避免介質(zhì)在真空泵內(nèi)由于化反或氣固變相形成顆粒物。

　　一般來(lái)說(shuō), 在真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況。

　?、?有時(shí)泵內(nèi)壓力增高,而引起氣固變態(tài)過(guò)程的發(fā)生；

　?、?在泵內(nèi)氣體成分的反應(yīng)生成物；

　?、?抽氣過(guò)程混入的顆粒物。

　　在干式真空泵應(yīng)用中泵內(nèi)出現(xiàn)顆粒物的工況圖片

　　上圖就是顆粒物、可凝性氣體在真空泵內(nèi)凝結(jié)后會(huì)對(duì)泵造成的各種損傷。對(duì)此，除常規(guī)的過(guò)濾裝置外，還有以下方法可以避免泵內(nèi)顆粒物的產(chǎn)生：

　　1、適當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù)，隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過(guò)程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過(guò)程中生產(chǎn)的氯化鋁，在對(duì)應(yīng)壓力下，其在80℃就會(huì)開(kāi)始?xì)饣?，因此在將泵?nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。

　　2、降低會(huì)反應(yīng)氣體的濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反應(yīng)生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關(guān)，所以在干式真空泵抽取這類(lèi)氣體的工藝中可以通過(guò)充入惰性氣體，減少反應(yīng)氣體濃度來(lái)降低顆粒物的形成。這個(gè)方法也會(huì)用于泵內(nèi)溫度冷卻，防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等，也可以防止介質(zhì)達(dá)到著火極限等可能，如CVD工藝中可能發(fā)生的爆炸。

　　3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積，使氣體的流動(dòng)速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點(diǎn)一樣，在不影響真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。

　　干式真空泵在使用一段后都是需要進(jìn)行內(nèi)部清理，這也是為了延長(zhǎng)它的使用時(shí)間，保證使用效果。

　　進(jìn)行內(nèi)部清理的時(shí)候需要做的工作是：

　　1、刮去葉輪內(nèi)外表面及密封環(huán)和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物，再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。

　　2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。

　　3、檢查管內(nèi)是否暢通并清理水封管。

　　4、清理軸瓦及軸承，除去油垢，再清洗油圈及油面計(jì)等，滾珠軸承要用汽油清洗。

　　5、暫時(shí)不進(jìn)行裝配的零、部件，在清洗后都要及時(shí)的涂油保護(hù)。

　　定期的進(jìn)行干式真空泵的內(nèi)部清理不僅是可以延長(zhǎng)泵的使用壽命更重要的是可以減少企業(yè)損失，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。