【康沃真空網(wǎng)】離子刻蝕的源頭可以追溯到早期文明?？v觀地球文明歷史，一些有機(jī)化學(xué)物質(zhì)（如檸檬酸和乳酸）經(jīng)常被用來蝕刻金屬。而現(xiàn)代大多數(shù)化學(xué)蝕刻方法都涉及堿性蝕刻劑的使用。到了1782年，約翰·塞內(nèi)比爾（ John Senebier） 發(fā)現(xiàn)了在暴露于光線時某些樹脂會硬化，且會失去對松節(jié)油等化學(xué)物質(zhì)的溶解性，促進(jìn)了光化學(xué)研磨的發(fā)展。

　　離子束刻蝕的必備環(huán)境無疑就是真空了，真空系統(tǒng)性能如何，將直接影響設(shè)備的工作性能。獲得良好的真空環(huán)境的前提要求是要有合理的真空系統(tǒng)理論設(shè)計以及準(zhǔn)確計算。通過真空設(shè)計的計算可解決兩個問題：

　　其一是根據(jù)該設(shè)備極限真空、抽氣時間、工作壓力與產(chǎn)生氣體量，進(jìn)行主泵類型的選擇、管道確定及真空元件的選擇；其二是計算系統(tǒng)抽氣時間。

　　1、配泵計算

　　原則上，要求選配前級泵需要在具備做到主泵工作所需要的預(yù)真空環(huán)境，以及在主泵允許的最大排氣壓力的情況之下，可及時排走主泵所排出氣體。

　　2、壓力與型號

　　通過的工作壓力要求及不同需求，進(jìn)行主泵型號的選擇。通常主泵為油擴(kuò)散泵，而為防止返油污染真空容器，在真空容器和擴(kuò)散泵間需安裝水冷障板。水冷障板的比流導(dǎo)為4.8L/s·cm，配置手電兩用真空插板閥。

　　3、有效抽速

　　確定真空室中保持工作壓力P為1.5x10Pa所需要的有效抽速S=Q/P=415[L/s]（Q為氣體量），但為了更加可靠，常適當(dāng)增大有效抽速，根據(jù)具體情況增大的情況不同，如果按增大25％進(jìn)行計算，則設(shè)備實(shí)際要求的有效抽速是518.75L/s。

　　4、產(chǎn)生氣體量

　　設(shè)備的氣體量確定主要考慮它的三個來源：真空室表面出氣量、系統(tǒng)的漏氣量以及工作過程中放氣量。其中，工作過程中放氣量是一大主要因素。

　　此外，離子刻蝕的真空系統(tǒng)還設(shè)有儲氣罐于擴(kuò)散泵出口與三通閥之間，具備縮短工作周期的作用，將擴(kuò)散泵排出的氣體儲存起來。因?yàn)樵O(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，工件的更換需要在不關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器的條件下，在真空室通入大氣換取工件，裝好工件后，對真空室進(jìn)行粗抽（預(yù)抽）。這段時間內(nèi)擴(kuò)散泵的維持工作將通過儲氣罐來完成。