真空系統(tǒng)中,損壞了的真空泵零部件需要進行維修，如果維修完畢,或者根據生產要求自行改進、設計的真空系統(tǒng)所需零部件已準備就序,那么下一步應對這些零部件進行鑒定和清洗,只有事先做好了這些準備工作,后面系統(tǒng)安裝和調試才會順利進行。

一、真空元件的鑒定

鑒定內容包括對于所使用的真空泵應檢查其特性,主要是極限真空度和抽氣速率能否滿足要求。對一些主要零部件必須進行密封性能的鑒定;對玻璃零件是用旋片式真空泵抽空,用火花檢漏器檢漏;對金屬零件通常是打氣試漏,即在零件內打入壓縮空氣,放入水中或肥皂水中仔細觀察因漏氣所發(fā)生的連續(xù)氣泡。用其他方便的檢漏方法均可。真空元件的漏孔往往在焊縫處,需特加注意。密封性能要求高的地方,應用氦質譜檢漏儀檢漏。近來也有采用更方便直觀的熒光檢漏法找出漏隙的。

二、清潔處理

為了使系統(tǒng)內不存在任何一點易于大量放氣的物質以及除去蒸氣壓較高的物質,必須進行徹底的處理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法,常用的真空元件清洗方法如下。

1、旋片式真空泵的清洗

對無明顯故障的旋片式真空泵的清洗,一般不拆開泵,只需從放油孔排出舊油及臟物,用漏斗從進氣口注入新真空泵油(作洗滌用),用手慢慢的旋轉泵輪幾圈后,再把此油放出。用同樣的方法重復一、二次,就可灌新油正式使用。對新旋片式真空泵不必清洗,但需要檢查管道入口處是否清潔,有無異物,并擦去表面油灰。

2、金屬擴散泵的清洗

根據實際經驗總結,可按下述步驟進行:
①將泵內的噴口及引管小心地取出,并拆開,用干凈的棉紗或廢紙將泵內部及各級噴口與引管上的油脂擦掉;
②用濃度為50～100克/升的苛性鈉溶液,并加熱到60～70℃,進行浸洗,或者直接用有機溶劑如四氯化碳,三氯化乙烯、丙酮等進行浸洗;
③用熱水沖洗;
④用冷水多次沖洗;
⑤將零部件用熱風吹干或在烘箱中烘干。

3、對玻璃擴散泵、玻璃管及玻璃活栓的清洗

①用冷水充分沖洗,必要時用藥棉擦試;
②若玻璃表面有油脂時,用較濃的苛性鈉溶液清洗;
③用重鉻酸鉀溶液(又稱洗液)清洗,其配方如下:

重鉻酸鉀飽和水溶液　20～30毫升
濃硫酸(94% )　500毫升
配制方法是,將重鉻酸鉀加入蒸餾水內,直到結晶不再溶化,即得到飽和溶液,量出所需的數量,然后將濃硫酸緩慢加入并不斷的攪動,即配成洗液。使用時溫度z*好在100～110℃,此時溶液是透明紅色,用過多次失效后,溶液變成綠色或濘污;

④冷水沖洗,再用蒸餾水洗,玻璃上應沒有肉眼可見的水珠;
⑤用吹風機吹干或放于烘箱內烘干。

4、真空橡膠管(或橡皮塊)的清洗

①在15%～20%苛性鈉溶液中熱煮(70℃ ～80℃)1小時以上。
②冷水漂凈;
③在水中煮沸;
④吹干或烘干。

5、玻璃活栓在使用下清洗

玻璃活栓在使用一段時間后,常后產生漏氣,轉動困難,此時可用藥棉花醮點汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶劑完全揮發(fā)后,再涂以適當型號的真空脂密封。

6、金屬零件的清洗

一般小型金屬零件,用有機溶劑去除油污,然后烘干。對金屬零件及材料若有特殊的清潔要求,則此時的清洗方法,可按具體要求辦理,總的原則是盡量減少氣源和污染源。