說(shuō)到真空泵機(jī)組發(fā)生內(nèi)漏現(xiàn)象的話，我們其實(shí)也就是要注意它大多也就是會(huì)發(fā)生在有水冷套的一個(gè)設(shè)備上。說(shuō)到真空泵機(jī)組發(fā)生內(nèi)漏現(xiàn)象，其實(shí)也就是在我們檢查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是就其機(jī)械泵的抽速上其實(shí)也就是會(huì)明顯偏低，還有就是其真空計(jì)示值比較低或者是機(jī)械泵油很快乳化。

如果發(fā)現(xiàn)真空泵機(jī)組中的真空室內(nèi)的鐵基零部件上會(huì)明顯銹蝕的現(xiàn)象的時(shí)候。基本可以確定它發(fā)生了內(nèi)漏的現(xiàn)象。這個(gè)時(shí)候，要注意應(yīng)該要先把內(nèi)壁進(jìn)行清理干凈，接下來(lái)，要通冷卻水，看它有沒有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，它的濕潤(rùn)處就是它的漏點(diǎn)。

真空泵機(jī)組小漏和微其實(shí)也就是比較難查，常用的方法是要利用它在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)于某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)進(jìn)行檢漏。比較常見是指丙酮或者是乙醇，可以用醫(yī)用注射器直接的就向可疑的地方進(jìn)行噴射丙酮或者是乙醇，當(dāng)噴到漏點(diǎn)的時(shí)候，我們就會(huì)發(fā)現(xiàn)對(duì)于電離計(jì)的指針上會(huì)有比較明顯的擺動(dòng)。

用這種方法對(duì)真空泵機(jī)組進(jìn)行檢漏一定的要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了之后，就這個(gè)方面來(lái)講的話，我們就是會(huì)發(fā)現(xiàn)它在抽氣能力與漏率上其實(shí)也就是會(huì)實(shí)現(xiàn)了平衡，接著可以實(shí)現(xiàn)噴射。

對(duì)于真空泵機(jī)組較大的漏點(diǎn)，可以直接的就用火焰法，利用氣流來(lái)直接的就使火焰進(jìn)行偏離的原理，要注意應(yīng)該先要抽上真空，接下來(lái)的話，要用蠟燭或者是打火機(jī)在真空泵機(jī)組可疑點(diǎn)附近進(jìn)行逐步查尋。