熱傳導真空計是基于氣體分子熱傳導能力在一定壓力范圍內(nèi)與氣體壓力有關的原理而制成的。根據(jù)熱絲溫度測量方式的不同，它可分為電阻真空計和熱偶真空計。

我們知道氣體分子一直處于熱運動狀態(tài)，它的密度多少會影響到熱傳導的速率。而熱傳導真空計即是通過熱絲與管殼間的氣體熱傳導，引起熱絲的溫度變化來指示氣體的壓力。它具有結構簡單、易制造易操作、可遠距離連續(xù)測量全壓力等優(yōu)點，在真空測量中得到廣泛應用。

螺桿真空泵廠家開頭提到了熱傳導真空計包括電阻真空計與熱偶真空計。電阻真空計也被稱之為皮拉尼真空計，它是通過熱絲電阻的變化來反映氣體壓力變化。結構上，真空計由金屬或玻璃規(guī)管殼內(nèi)封裝電阻溫度系數(shù)高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲，并用引線從兩端引出規(guī)管，接測量線路。

電阻真空計結構原理圖

熱偶真空計則是借助于熱電偶直接測量熱絲溫度變化：熱絲和熱電偶組成熱偶規(guī)管，熱電偶的熱端與熱絲相連，另一端作為冷端經(jīng)引線引出管外接至測量熱偶電勢的毫伏表。測量中，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢就用于表征規(guī)管內(nèi)的壓力。

熱偶真空計結構原理圖

因為是通過熱傳導來實現(xiàn)，所以熱傳導真空計測量易受外界溫度影響，安裝場所要求不易受到輻射或對流傳熱；熱絲具有一定的熱慣性，壓力變化引起的熱絲溫度變化會有延滯，反應相對沒有彈性變形真空計等那么靈敏；同時它屬于相對真空計，測量受氣體種類影響，需要根據(jù)氣體種類以及沾污等因素進行校準。測量范圍上，電阻真空計一般介于10⁴～10^-1Pa之間，而熱偶真空計一般在10²～10^-1Pa之間。