在真空技術(shù)中人們把被抽容器，真空泵、真空閥門、儲氣罐，擋板、阱、過濾器、冷凝器以及各種真空管道等元件連接起來，組成能夠獲得一定真空度，并且能夠滿足工藝要求的裝置。這種裝置稱為真空泵系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)的性能和真空泵一樣，由系統(tǒng)的極限真空度和系統(tǒng)的抽氣速率決定。各種真空系統(tǒng)中除粗真空系統(tǒng)只由一種泵組成外，其他真空系統(tǒng)都由兩種或兩種以上的真空泵組成。

組成真空系統(tǒng)之前s*先要選泵，選擇直接對容器進(jìn)行抽空的真空泵—主泵時，應(yīng)該考慮的問題是:被抽容器所要求的工作壓強(qiáng)，被抽氣體的性質(zhì)和數(shù)量以及設(shè)備投資和運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo)。

真空泵系統(tǒng)的使用與維護(hù)也非常重要

1、要有好的工作環(huán)境。

室內(nèi)溫度10~30℃，相對濕度不大于65%，冷卻水進(jìn)水溫度不超過25℃，電源的電壓允許波動范圍±10%。

2、根據(jù)真空系統(tǒng)的實(shí)際情況制定合理的操作規(guī)程。

第一次使用時要對所有的零部件進(jìn)行擦洗和烘烤，檢查電源線路是否正常，電源電壓是否符合要求。檢查各組件如機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、閥門是否正常，第一次使用時可能因長期擱置，真空系統(tǒng)中各組件表面和泵油吸附很多水蒸汽和各種氣體，所以抽真空時很可能達(dá)不到要求的真空度。這時可以反復(fù)的作二、三次放氣和抽真空，使各組件和泵油充分的脫氣。如果第三次抽氣時真空度仍達(dá)不到要求，就說明該系統(tǒng)可能漏氣了。