z*初的真空計是由托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細長玻璃管發(fā)明的。根據(jù)測量的真空度范圍和使用環(huán)境，現(xiàn)在z*常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。

這幾種真空計利用了不同的物理現(xiàn)象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導，電離真空計利用的是真空放電。

選用真空計時應該注意以下事項：
一：在設備要求的壓強范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度;
二：被測氣體是否會對真空計造成損傷;
三：真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響;
四：真空計所測壓強是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關(guān);
五：真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應時間如何;
六：真空計的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。