應(yīng)用材料將真空泵和除害裝置的運行成本削減20%以上 美國應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的
真空泵及除害裝置等的能源消耗量,將運行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Alied iSYS”。s*先將面向該公司的CVD裝置提供,將來還計劃應(yīng)用于蝕刻裝置?! ?br />
Alied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如,應(yīng)用于CVD裝置時,在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置,其他時間使其處于備用狀態(tài)。這樣,可減少用電量及煤氣用量等。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時,每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上?! ?br />
據(jù)應(yīng)用材料公司介紹,大型半導(dǎo)體廠商已相繼提出能源削減目標(biāo)。在半導(dǎo)體工廠的能源消耗中,制造裝置占45%,制造裝置所附帶的裝置占42%,其余13%來自照明等。