選用真空泵的注意事項(xiàng) 

       沈陽(yáng)紀(jì)維應(yīng)用技術(shù)有限公司 寧憲寧　　

       1.真空泵選擇的原則 　在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí)，s*先要正確選擇真空泵的類型，確定真空泵的大小。　
　
       2.真空泵類型的選擇 　在選擇真空泵的類型時(shí)，需要考慮的包括被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng)，被抽氣體的種類，和真空泵采購(gòu)的初始投資與運(yùn)行中的日常維護(hù)費(fèi)用?！?br /> 　
       3.真空泵工作壓強(qiáng)范圍的選擇 　s*先要根據(jù)被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng)，正確選擇真空泵的工作壓強(qiáng)范圍。 　從設(shè)計(jì)與制造者的角度，每種真空泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：無(wú)油渦旋真空泵的工作壓強(qiáng)范圍為大氣～1Pa。在這樣寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為10E4～10Pa。因而，無(wú)油渦旋真空泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在大氣下或者1Pa下長(zhǎng)期工作。 　從用戶的角度看，真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強(qiáng)要求，通常選擇真空泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。例如：真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg?！?br /> 　
       4.真空泵大小的選擇 　選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點(diǎn)： 　s*先根據(jù)被抽真空室工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的z*大排氣流量來(lái)決定。每種泵都有其極限壓強(qiáng)和z*佳抽速壓強(qiáng)范圍，真空室內(nèi)壓強(qiáng)要在泵的z*佳抽速壓強(qiáng)范圍內(nèi)。 　其次還要根據(jù)真空室的大小和抽氣時(shí)間要求來(lái)選擇。 　另外真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。但大部分工作壓強(qiáng)是單獨(dú)一種真空泵所不能達(dá)到的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機(jī)組，以滿足工作要求。 　例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大，要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無(wú)油，抽氣時(shí)間盡量短、以提高工作效率。這時(shí)抽速為15～60立方米/小時(shí)（4～16升/秒）的無(wú)油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無(wú)油真空機(jī)組，達(dá)到接近600立方米/小時(shí)（150升/秒）的抽速，實(shí)現(xiàn)大抽速、清潔無(wú)油的目標(biāo)，就能夠很好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求?！　?br />
       5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵 　由于真空泵有選擇性抽氣，因而有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。比如分子泵需要前級(jí)粗抽泵啟動(dòng)，與無(wú)油渦旋真空泵組合起來(lái)，便會(huì)使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無(wú)油的真空環(huán)境。 　如果被抽真空室要求清潔無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油真空泵，如：無(wú)油渦旋真空泵、螺桿泵、水環(huán)泵、濺射離子泵、低溫泵以及分子篩吸附泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等。 　另外還應(yīng)當(dāng)考慮被抽氣體的種類，氣體中有無(wú)可凝蒸氣、有無(wú)顆?；覊m、有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等?！　?br />
       6.考慮真空泵對(duì)周圍環(huán)境的影響 　如果工作場(chǎng)所周圍環(huán)境不允許有污染，如潔凈室等，就要選擇無(wú)油真空泵，如無(wú)油渦旋真空泵等。
　　
       7.考慮真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的噪音與振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境的影響 　若工藝過(guò)程不允許噪音與振動(dòng)，如分析測(cè)試儀器，就應(yīng)選擇噪音低、無(wú)振動(dòng)的真空泵或者采取隔離罩、軟連接等減噪、防振措施。　
　
       8.真空泵采購(gòu)的初始投資與運(yùn)行中的日常維護(hù)費(fèi)用 　要從整個(gè)設(shè)備全局的角度來(lái)選擇真空泵，綜合平衡價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維護(hù)費(fèi)用因素，考慮初始投資與日常維護(hù)費(fèi)用的平衡。如無(wú)油渦旋真空泵雖然采購(gòu)?fù)顿Y較高，但是具有運(yùn)行中不需要油潤(rùn)滑、也不需要冷卻水，具有省卻了冷卻水系統(tǒng)、不用更換潤(rùn)滑油、不會(huì)對(duì)環(huán)境造成油污染、運(yùn)動(dòng)部件互相不接觸、能耗低、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn)，z*重要的是提供了清潔無(wú)油的真空環(huán)境，提升了設(shè)備檔次，順應(yīng)了濕法真空工藝向干法真空工藝轉(zhuǎn)變的發(fā)展趨勢(shì)，是很好的選擇。