1.1標準環(huán)境條件tandard ambient condition： 溫度為20℃，相對濕度為65%，大氣壓力為：101325Pa=1013.25mbar=760Torr。
 
       1.2氣體的標準狀態(tài)tandard reference conditio for gases：溫度為0℃，壓力為：101325Pa。

       1.3壓力（壓強）reure：氣體分子從某一假想平面通過時，沿該平面的正法線方向的動量改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器壁表面上的力的法向分量，除以該表面面積。注：“壓力”這一術語只適用于氣體處于靜止狀態(tài)的壓力或穩(wěn)定流動時的靜態(tài)壓力。

       1.4帕斯卡Paascal：國際單位制壓力單位，1Pa=1N/m2。

       1.5托Torrtorr：壓力單位，1Torr=1/760atm。

       1.6標準大氣壓atmtandard atmohere：壓力單位，1atm=101325Pa。

       1.7毫巴mbarmillibar：壓力單位，1mbar=102Pa。
  
       1.8分壓力artial preure：混合氣體中某一組分的壓力。

       1.9全壓力total preure：混合氣體中所有組分壓力的總和。

       1.10真空vacuum：在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。

       1.11真空度degree of vacuum：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。

       1.12真空區(qū)域ranges of vacuum：真空區(qū)域大致劃分如下：真空區(qū)域壓力 Pa Torr低 真 空 105～102 760～1中 真 空 102～10-11～10-3高 真 空 10-1～10-5 10-3～10-7超高真空 〈10-5〈10-7

       1.13氣體gas：不受分子間相互作用力的約束且能自由地占據(jù)任意空間的物質。汪：在真空技術中，“氣體”一詞不嚴格地應用于非可凝氣體和蒸汽。

       1.14非可凝氣體on-condeable gas：在臨界溫度以上的氣體，即單純增加壓力不能使其液化的氣體。

       1.15蒸汽vapor：在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其液化的氣體。

       1.16飽和蒸汽壓saturation vapor preure：在給定溫度下，某種物質的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態(tài)下的該種物質的蒸汽壓力。

       1.17飽和度degree of saturation：蒸汽壓對其飽和蒸汽壓之比。

       1.18飽和蒸汽saturated vapor：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。

       1.19未飽和蒸汽uaturated vapor：+給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。

       1.20分子數(shù)密度n，m-3umber deity of molecules：在某瞬時，氣體中某點周圍體積內(nèi)的分子數(shù)，除以該體積。

       1.21平均自由程ι、λ，mmean free path：一個分子與其它氣體分子每連續(xù)二次碰撞走過的路程，叫自由程。相當多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。

       1.22碰撞率ψ collision rate：在給定的時間間隔內(nèi)，一個分子（或其它規(guī)定粒子）相對于其它氣體分子（或其它規(guī)定粒子）運動，受到的平均碰撞次數(shù)，除以該時間。這個平均碰撞次數(shù)是應在足夠多的分子數(shù)和足夠長的時間間隔下取得。

       1.23體積碰撞率χ volume collision rate：在給定時間間隔內(nèi)，在圍繞規(guī)定一點的空間范圍內(nèi)氣體分子間的平均碰撞次數(shù)，除以該時間和該空間范圍體積。所取時間間隔和體積不應太小。

       1.24氣體量G quantity of gas：處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20℃時的數(shù)值。注：氣體量是指該量氣體所占體積內(nèi)氣體內(nèi)稟能量（或位能）的2/3。

       1.25氣體的擴散 diffusion of gas：氣體由于濃度梯度而在另一種介質中的運動。介質可以是另一種氣體（這種情況下的擴散稱之為互擴散）或者是可凝聚物質。

       1.26擴散系數(shù)Ddiffusion coefficient; diffusivity：通過單位面積的質量流率的絕對值同該單位面積的法向濃度梯度之比。

       1.27粘滯流 viscous flow：氣體分子的平均自由程遠小于導管z*小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。

       1.28粘滯系數(shù)ηviscous factor：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。

       1.29泊肖葉流oiseuille flow：流過圓截面長導管的層流粘滯流。

       1.30中間流 intermediate flow：在層流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過導管的流動。

       1.31分子流molecular flow：氣體分子的平均自由程遠大于導管截面z*大尺寸的流態(tài)。

       1.32克努曾數(shù)umber of knudsen：氣體分子的平均自由程與導管直徑之比。

       1.33分子瀉流molecular effusio effusive flow：氣體流過薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時的流動狀態(tài)。

       1.34流逸trairation：由壓力差引起的氣體通過多孔物體的流動。

       1.35熱流逸thermal trairation：在分子流狀態(tài)下，兩個連通容器由于溫度不同引起了氣體流動，當氣體傳輸達到平衡時，兩個容器之間產(chǎn)生壓力梯度的現(xiàn)象。

       1.36分子流率qN molecular flow rate; molecular flux：在給定時間間隔內(nèi)，從給定方向穿過表面的分子數(shù)與從相反方向穿過該表面那些分子數(shù)之差，除以該時間。

       1.37分子流率密度 molecular flow rate deity; deity of molecular flux：分子流率除以表面面積。

      1.38質量流率qmma flow rare：在給定時間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體質量，除以該時間。

       1.39流量qGthroughput of gas：在給定時間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體量除以該時間。1.40體積流率qVvolume flow rate：在給定溫度、壓力和給定時間間隔通過某截面的氣體體積，除以該時間。

       1.41摩爾流率qυmolar flow rate：在給定時間間隔內(nèi)通過給定截面的氣體的摩爾數(shù)，除以該時間。

       1.42麥克斯韋速度分布maxwellian velocity distribution：由麥克斯韋-波爾茲曼速度分布函數(shù)確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態(tài)和到器壁的距離大于分子平均自由程時的速度分布。

       1.43傳輸幾率Pc tramiion probability：無規(guī)律地進入導管入口的分子通過出口的幾率。

       1.44分子流導CN,Umolecular conductance：氣體通過管的兩規(guī)定截面或孔流動的分子流導為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側的平均分子數(shù)密度差之比。

       1.45流導C,Uconductance：在等溫條件下，氣體通過導管或孔流動時，其流量與導管的兩規(guī)定截面或孔的兩側的平均壓力差之比。

       1.46固有流導Ci,Uiintriic conductance：在容器中麥克斯韋速度分布占優(yōu)勢的條件下，連接這樣兩個容器的導管（或小孔）的流導。在分子流條件下，它等于入口流導與傳輸幾率之積。

       1.47流阻Wresistance：流導的倒數(shù)。

       1.48吸附 sorption：固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸汽（吸附質）的捕集現(xiàn)象。

       1.49表面吸附adsorption：氣體或蒸汽（吸附質）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現(xiàn)象。

       1.50物理吸附physisorption：由于物理作用的吸附現(xiàn)象。

       1.51化學吸附 chemisorption：由于化學作用的吸附現(xiàn)象。

       1.52吸收aorption：氣體或蒸汽（吸附質）擴散進入到固體或液體（吸附劑）內(nèi)部的現(xiàn)象。

       1.53適應系數(shù)α accommodation factor：入射到某一表面的粒子和該表面實際交換的平均能量與粒子在該表面上達到完全的熱平衡條件所應當交換的平均能量之比。

       1.54入射率υ impingement rate：在給定時間間隔內(nèi)，入射到表面的分子數(shù)，除以該時間和該表面面積。

       1.55凝結率condeation rate：在給定時間間隔內(nèi)凝結在某一表面積上的分子數(shù)（或物質量或物質質量）除以該時間和該表面面積。

       1.56粘著率 sticking rate：在給定時間間隔內(nèi)表面上吸附的分子數(shù)，除以該時間和該表面面積。

       1.57粘著幾率 sticking probability：粘著率與入射率之比。

       1.58滯留時間τresidence time：分子在表面上以吸附狀態(tài)被約束的平均時間。

       1.59遷移migration：分子在表面上的移動。

      1.60解吸desorption：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現(xiàn)象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。

       1.61去氣degaing：氣體從材料中人為的解吸。

       1.62放氣outgaing：氣體從材料中自然的解吸。

       1.63解吸或放氣或去氣速率qGUdesorption or outgaing or degaing rate：在給定時間間隔內(nèi)，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時間和該表面面積。

       1.64蒸發(fā)率evaporation rate：在給定時間間隔內(nèi)從表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（或物質量或物質質量）除以該時間和該表面面積。

       1.65滲透ermeation：氣體通過固體阻擋層的現(xiàn)象。該現(xiàn)象包括氣體通過固體的擴散，也可以包括其它的表面現(xiàn)象。

       1.66滲透率φermeability：在穩(wěn)定流動的條件下，氣體通過阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側壓力函數(shù)的量，該函數(shù)形式取決于實際滲透所涉及的物理過程。

       1.67滲透系數(shù)ermeability coefficient：滲透率與阻擋層厚度之積除以滲透表面積。