真空泵及有關(guān)術(shù)語
2.1真空泵vacuum pum產(chǎn)生、改善和（或）維持真空的裝置?；旧戏譃闅怏w傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
2.1.1容積真空泵ositive dilacement pump：容積真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。2.1.1.1氣鎮(zhèn)真空泵 gas ballast vacuum pump：泵工作中，經(jīng)氣鎮(zhèn)閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮室，以降低被抽氣體中可凝性蒸汽在泵內(nèi)凝結(jié)程度的容積真空泵。4.1.1.6～4.1.1.10的容積真空泵均可裝氣鎮(zhèn)裝置。
2.1.1.2油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：利用油類密封各運(yùn)動(dòng)部件間的間隙和減少壓縮室有害空間的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.3干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：不用油類（或液體）密封的容積真空泵。
2.1.1.4往復(fù)真空泵 piston vacuum pump：利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體壓縮并排出的容積真空泵。
2.1.1.5液環(huán)真空泵liquid ring vacuum pump：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體（通常為水）拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.6旋片真空泵liding vane rotary vacuum pump：轉(zhuǎn)子偏心的裝在泵殼內(nèi)并同泵殼內(nèi)表面固定面相切，在轉(zhuǎn)子內(nèi)裝有二個(gè)（或二個(gè)以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)滑片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.7定片真空泵rotary piston vacuum pump：在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵殼內(nèi)壁相接觸的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一片始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)滑片上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.8滑閥真空泵rotary plunger vacuum pump：在偏心轉(zhuǎn)子外有一滑閥環(huán)，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)滑閥環(huán)沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，固定在滑閥環(huán)上的滑閥桿能在裝于泵殼適當(dāng)位置可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.9余擺線真空泵trochoidal vacuum pump：在泵殼內(nèi)，偏心裝有一個(gè)余擺線型轉(zhuǎn)子，它沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的容積真空泵。
2.1.1.10多室旋片真空泵multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：在一個(gè)泵殼中并聯(lián)裝有由同一電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的多個(gè)獨(dú)立工作室的旋片真空泵。
2.1.1.11羅茨真空泵 roots vacuum pump：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間，轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁保持一定的間隙的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.2動(dòng)量傳輸泵kinetic vacuum pump：高速旋轉(zhuǎn)的葉片或射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷的從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡谩?br />
2.1.2.1牽引分子泵molecular drag pump：氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
2.1.2.2渦輪分子泵turbo molecular pump：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子對(duì)應(yīng)的圓盤間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度和氣體分子速度是相同的量級(jí)的，泵通常在分子流條件下工作。
2.1.2.3噴射真空泵ejector vacuum pump：利用文丘里（venturi）效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出中的一種動(dòng)量傳輸泵。噴射真空泵適于粘滯流和過渡流條件下工作。
2.1.2.4液體噴射真空泵liquid jet vacuum pump：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.5氣體噴射真空泵gas jet vacuum pump：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.6蒸汽噴射真空泵vapor jet vacuum pump ：以蒸汽（水、油、汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.7擴(kuò)散泵diffusion pump ：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的氣體動(dòng)量傳輸泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是低的。這種泵適于分子流條件下工作。
2.1.2.8自凈化擴(kuò)散泵self purifying diffusion pump：泵液中的易揮發(fā)雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)構(gòu)輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵。
2.1.2.9分餾擴(kuò)散泵 fractionating diffusion pump ：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓力較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴中的一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
2.1.2.10擴(kuò)散噴射泵diffusion ejector pump ：有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴和具有噴射泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴組成的動(dòng)量傳達(dá)室輸泵。
2.1.2.11離子傳輸泵ion trafer pump：被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
2.1.3捕集真空泵 entrapment vacuum pump：氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵。
2.1.3.1吸附泵adsorption pump：主要用具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的捕集真空泵。
2.1.3.2吸氣劑泵 getter pump：用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的捕集真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
2.1.3.3升華（蒸發(fā)）泵ublimation (evaporation)pump ：一種用間斷或連續(xù)方式升華（蒸發(fā)）吸氣材料以達(dá)到抽氣目的的捕集真空泵。
2.1.3.4吸氣劑離子泵getter ion pump：被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上的捕集真空泵。
2.1.3.5蒸發(fā)離子泵 evaporation ion pump ：泵內(nèi)被電離氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附的一種吸氣離子泵。
2.1.3.6濺射離子泵utter ion pump ：泵內(nèi)電離的氣體，被吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上的吸氣劑離子泵。
2.1.3.7低溫泵cryopump：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。
2.2真空泵零部件
2.2.1泵殼 pump case：將低壓力氣體與大氣隔開的泵的外殼。
2.2.2入口 inlet：真空泵的吸氣口。
2.2.3出口outlet：真空泵的出口。
2.2.4旋片（滑片、滑閥）vane; blade ：在一些容積真空泵中，將泵腔分成若干部分的滑動(dòng)零件。
2.2.5排氣閥discharge valve：在一些旋轉(zhuǎn)容積真空泵中，從壓縮室排氣的自動(dòng)閥。
2.2.6氣鎮(zhèn)閥gas ballast valve：在氣鎮(zhèn)真空泵的壓縮室安裝的一種起氣鎮(zhèn)作用的充氣閥。
2.2.7膨脹室expaion chamber：在一些容積真空泵泵腔內(nèi)，被抽氣體進(jìn)入逐漸增大的空間。
2.2.8壓縮室compreion chamber：進(jìn)入容積真空泵泵腔的氣體，在排出之前被壓縮，使其體積逐漸減小的的空間。
2.2.9真空泵油vacuum pump oil：在油封真空泵中，用來密封、冷卻和潤滑的液體。
2.2.10泵液 pump fluid：噴射真空泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的工作液。
2.2.11噴嘴 nozzle：為使噴射真空泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵起抽氣作用而對(duì)射流導(dǎo)向的部件。
2.2.12噴嘴喉部nozzle throat：噴嘴的z*小橫截面。
2.2.13噴嘴擴(kuò)張率nozzle expaion rate：噴嘴出口面積和噴嘴喉部面積之比。
2.2.14噴嘴間隙面積ozzle clearance area：噴嘴出口外緣和泵殼之間z*小橫截面積。
2.2.15噴嘴間隙nozzle clearance：決定噴嘴間隙面積的環(huán)的寬度。
2.2.16射流jet：從噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵噴嘴噴射出的工作介質(zhì)流。
2.2.17擴(kuò)散器diffuser：噴射泵壁的收縮部分、喉部及擴(kuò)張部分的總和。
2.2.18擴(kuò)散器喉部diffuser thoat：擴(kuò)散器的z*小截面部分。
2.2.19蒸汽導(dǎo)管vapor tube(pipe;chimney)：在蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵中，從鍋爐到噴嘴的連接管。
2.2.20噴嘴組件nozzle aembly：蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的噴嘴與蒸汽導(dǎo)管的組裝件（一般指可拆卸部件）。
2.2.21下裙skirt：噴嘴組件下部的擴(kuò)大部分。它使返回冷凝的泵液與鍋爐產(chǎn)生的蒸汽分開。
2.3附件
2.3.1阱trap：用物理或化學(xué)的方法來降低氣體混合物中蒸汽壓力的裝置。
2.3.1.1冷阱 cold trap：通過冷卻表面凝結(jié)作用工作的阱。
2.3.1.2吸附阱sorption trap：以吸附方式工作的阱。
2.3.1.3離子阱ion trap：利用電離方法工作的阱。
2.3.1.4冷凍升華阱 cryosublimation trap：用間斷方式把吸氣劑材料升華并沉積到阱的冷卻表面上來吸附氣體和凝結(jié)泵液蒸汽的阱。
2.3.2擋板baffle：裝在蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵入口，用以降低泵液返流和返遷移的遮擋裝置（也可用冷卻方式）。2.3.3油分離器oil separator：裝在真空泵出口處，用以減少以微滴形式被帶走的泵油的裝置。通常用于變?nèi)菡婵毡弥小?br />
2.3.4油凈化器oil purifier：從泵油中清除污染物的裝置。
2.3.5冷凝器condeer：用以冷凝混合氣流中水蒸汽的裝置。
2.4泵按工作分類2.4.1主泵main pump：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。2.4.2粗抽泵roughing vacuum pump：從大氣壓開始降低系統(tǒng)的壓力到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。
2.4.3前級(jí)真空泵backing vacuum pump：用以維持另一個(gè)泵的前級(jí)壓力在其臨界前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。
2.4.4粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：從大氣開始降低容器壓力的真空泵。
2.4.5維持真空泵holding vacuum pump：在真空系統(tǒng)中，當(dāng)氣體量很小時(shí)，不能有效的利用主前級(jí)泵，為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵維持主泵正常工作或維持已抽空容器所需之低壓的真空泵。
2.4.6高真空泵high vacuum pump：在高真空范圍工作的主真空泵。
2.4.7超高真空泵ultra-high vacuum pump：在超高真空范圍工作的真空泵。
2.4.8增壓真空泵booster vacuum pump：裝于高真空泵和前級(jí)泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量或者降低對(duì)前級(jí)泵容量要求的真空泵。
2.5真空泵特性
2.5.1真空泵的抽氣速率（體積流率）volume flow rate of a vacuum pump：當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。
2.5.2真空泵的抽氣量Q throughput of vacuum pump：流經(jīng)泵入口的流量。
2.5.3起動(dòng)壓力starting preure：泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力。
2.5.4前級(jí)壓力acking preure ：排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。
2.5.5臨界前級(jí)壓力critical backing preure：蒸汽噴射泵或擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵所許可的z*高前級(jí)壓力值，超過了此值就破壞正常工作。當(dāng)前級(jí)壓力稍高于臨界前級(jí)壓力時(shí)，還不致于引起入口壓力的顯著增加。蒸汽流泵的臨界前級(jí)壓力主要決定于抽氣量。 注：某些泵政黨工作的破壞不會(huì)突然出現(xiàn)，所以臨界前級(jí)壓力不能準(zhǔn)確指出。
2.5.6z*大前級(jí)壓力maximum backing preure：超過了能使泵損壞的前級(jí)壓力
2.5.7z*大工作壓力maximum working preure：對(duì)應(yīng)z*大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
2.5.8真空泵的極限壓力ultimate preure of a pump：泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作情況下，趨向穩(wěn)定的z*低壓力。
2.5.9壓縮比compreion ratio：泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
2.5.10何氏系數(shù)Ho coefficient：蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵噴嘴間隙面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
2.5.11抽速系數(shù)eed factor：蒸汽噴射泵或擴(kuò)散泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
2.5.12氣體的反擴(kuò)散back-diffusion of gas：從真空泵出口向入口與抽氣作用相反方向的氣體流動(dòng)。
2.5.13泵液返流back-streaming of pump fluid：泵液通過泵入口（或者附屬擋板或阱）與被抽氣體流動(dòng)方向相反的流動(dòng)。
2.5.14返流率back-streaming rate：泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵液質(zhì)量流率。
2.5.15返遷移back-migration：a蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的泵液分子沿表面移動(dòng)進(jìn)入被抽容器。B油封真空泵的泵油分子沿表面移動(dòng)進(jìn)入被抽容器。
2.5.16爆騰bumping：泵液在鍋爐內(nèi)由于局部過熱產(chǎn)生的不穩(wěn)定蒸發(fā)。
2.5.17水蒸氣允許量qmwater vapor tolerable load：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流率。
2.5.18z*大允許水蒸氣入口壓力maximum tolerable water vapor inlet preure：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)被抽氣體中水蒸氣的z*高入口壓力。
2.5.19蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的加熱時(shí)間warm-up time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：鍋爐中泵液的溫度達(dá)到它正常工作溫度所需要的時(shí)間。起始溫度可以是環(huán)境溫度，也可以是泵安全暴露大氣的溫度。
2.5.20蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的冷卻時(shí)間cool-down time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：泵停止加熱后，鍋爐中的泵液從正常工作溫度降到可以安全暴露大氣時(shí)的溫度所需要的時(shí)間。
2.1.1容積真空泵ositive dilacement pump：容積真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。2.1.1.1氣鎮(zhèn)真空泵 gas ballast vacuum pump：泵工作中，經(jīng)氣鎮(zhèn)閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮室，以降低被抽氣體中可凝性蒸汽在泵內(nèi)凝結(jié)程度的容積真空泵。4.1.1.6～4.1.1.10的容積真空泵均可裝氣鎮(zhèn)裝置。
2.1.1.2油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：利用油類密封各運(yùn)動(dòng)部件間的間隙和減少壓縮室有害空間的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.3干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：不用油類（或液體）密封的容積真空泵。
2.1.1.4往復(fù)真空泵 piston vacuum pump：利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體壓縮并排出的容積真空泵。
2.1.1.5液環(huán)真空泵liquid ring vacuum pump：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體（通常為水）拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.6旋片真空泵liding vane rotary vacuum pump：轉(zhuǎn)子偏心的裝在泵殼內(nèi)并同泵殼內(nèi)表面固定面相切，在轉(zhuǎn)子內(nèi)裝有二個(gè)（或二個(gè)以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)滑片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.7定片真空泵rotary piston vacuum pump：在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵殼內(nèi)壁相接觸的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一片始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)滑片上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.8滑閥真空泵rotary plunger vacuum pump：在偏心轉(zhuǎn)子外有一滑閥環(huán)，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)滑閥環(huán)沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，固定在滑閥環(huán)上的滑閥桿能在裝于泵殼適當(dāng)位置可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.1.9余擺線真空泵trochoidal vacuum pump：在泵殼內(nèi)，偏心裝有一個(gè)余擺線型轉(zhuǎn)子，它沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e的容積真空泵。
2.1.1.10多室旋片真空泵multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：在一個(gè)泵殼中并聯(lián)裝有由同一電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的多個(gè)獨(dú)立工作室的旋片真空泵。
2.1.1.11羅茨真空泵 roots vacuum pump：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間，轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁保持一定的間隙的旋轉(zhuǎn)容積真空泵。
2.1.2動(dòng)量傳輸泵kinetic vacuum pump：高速旋轉(zhuǎn)的葉片或射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷的從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡谩?br />
2.1.2.1牽引分子泵molecular drag pump：氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
2.1.2.2渦輪分子泵turbo molecular pump：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子對(duì)應(yīng)的圓盤間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度和氣體分子速度是相同的量級(jí)的，泵通常在分子流條件下工作。
2.1.2.3噴射真空泵ejector vacuum pump：利用文丘里（venturi）效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出中的一種動(dòng)量傳輸泵。噴射真空泵適于粘滯流和過渡流條件下工作。
2.1.2.4液體噴射真空泵liquid jet vacuum pump：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.5氣體噴射真空泵gas jet vacuum pump：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.6蒸汽噴射真空泵vapor jet vacuum pump ：以蒸汽（水、油、汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
2.1.2.7擴(kuò)散泵diffusion pump ：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的氣體動(dòng)量傳輸泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是低的。這種泵適于分子流條件下工作。
2.1.2.8自凈化擴(kuò)散泵self purifying diffusion pump：泵液中的易揮發(fā)雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)構(gòu)輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵。
2.1.2.9分餾擴(kuò)散泵 fractionating diffusion pump ：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓力較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴中的一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
2.1.2.10擴(kuò)散噴射泵diffusion ejector pump ：有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴和具有噴射泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴組成的動(dòng)量傳達(dá)室輸泵。
2.1.2.11離子傳輸泵ion trafer pump：被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
2.1.3捕集真空泵 entrapment vacuum pump：氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵。
2.1.3.1吸附泵adsorption pump：主要用具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的捕集真空泵。
2.1.3.2吸氣劑泵 getter pump：用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的捕集真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
2.1.3.3升華（蒸發(fā)）泵ublimation (evaporation)pump ：一種用間斷或連續(xù)方式升華（蒸發(fā)）吸氣材料以達(dá)到抽氣目的的捕集真空泵。
2.1.3.4吸氣劑離子泵getter ion pump：被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上的捕集真空泵。
2.1.3.5蒸發(fā)離子泵 evaporation ion pump ：泵內(nèi)被電離氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附的一種吸氣離子泵。
2.1.3.6濺射離子泵utter ion pump ：泵內(nèi)電離的氣體，被吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上的吸氣劑離子泵。
2.1.3.7低溫泵cryopump：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。
2.2真空泵零部件
2.2.1泵殼 pump case：將低壓力氣體與大氣隔開的泵的外殼。
2.2.2入口 inlet：真空泵的吸氣口。
2.2.3出口outlet：真空泵的出口。
2.2.4旋片（滑片、滑閥）vane; blade ：在一些容積真空泵中，將泵腔分成若干部分的滑動(dòng)零件。
2.2.5排氣閥discharge valve：在一些旋轉(zhuǎn)容積真空泵中，從壓縮室排氣的自動(dòng)閥。
2.2.6氣鎮(zhèn)閥gas ballast valve：在氣鎮(zhèn)真空泵的壓縮室安裝的一種起氣鎮(zhèn)作用的充氣閥。
2.2.7膨脹室expaion chamber：在一些容積真空泵泵腔內(nèi)，被抽氣體進(jìn)入逐漸增大的空間。
2.2.8壓縮室compreion chamber：進(jìn)入容積真空泵泵腔的氣體，在排出之前被壓縮，使其體積逐漸減小的的空間。
2.2.9真空泵油vacuum pump oil：在油封真空泵中，用來密封、冷卻和潤滑的液體。
2.2.10泵液 pump fluid：噴射真空泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的工作液。
2.2.11噴嘴 nozzle：為使噴射真空泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵起抽氣作用而對(duì)射流導(dǎo)向的部件。
2.2.12噴嘴喉部nozzle throat：噴嘴的z*小橫截面。
2.2.13噴嘴擴(kuò)張率nozzle expaion rate：噴嘴出口面積和噴嘴喉部面積之比。
2.2.14噴嘴間隙面積ozzle clearance area：噴嘴出口外緣和泵殼之間z*小橫截面積。
2.2.15噴嘴間隙nozzle clearance：決定噴嘴間隙面積的環(huán)的寬度。
2.2.16射流jet：從噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵噴嘴噴射出的工作介質(zhì)流。
2.2.17擴(kuò)散器diffuser：噴射泵壁的收縮部分、喉部及擴(kuò)張部分的總和。
2.2.18擴(kuò)散器喉部diffuser thoat：擴(kuò)散器的z*小截面部分。
2.2.19蒸汽導(dǎo)管vapor tube(pipe;chimney)：在蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵中，從鍋爐到噴嘴的連接管。
2.2.20噴嘴組件nozzle aembly：蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的噴嘴與蒸汽導(dǎo)管的組裝件（一般指可拆卸部件）。
2.2.21下裙skirt：噴嘴組件下部的擴(kuò)大部分。它使返回冷凝的泵液與鍋爐產(chǎn)生的蒸汽分開。
2.3附件
2.3.1阱trap：用物理或化學(xué)的方法來降低氣體混合物中蒸汽壓力的裝置。
2.3.1.1冷阱 cold trap：通過冷卻表面凝結(jié)作用工作的阱。
2.3.1.2吸附阱sorption trap：以吸附方式工作的阱。
2.3.1.3離子阱ion trap：利用電離方法工作的阱。
2.3.1.4冷凍升華阱 cryosublimation trap：用間斷方式把吸氣劑材料升華并沉積到阱的冷卻表面上來吸附氣體和凝結(jié)泵液蒸汽的阱。
2.3.2擋板baffle：裝在蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵入口，用以降低泵液返流和返遷移的遮擋裝置（也可用冷卻方式）。2.3.3油分離器oil separator：裝在真空泵出口處，用以減少以微滴形式被帶走的泵油的裝置。通常用于變?nèi)菡婵毡弥小?br />
2.3.4油凈化器oil purifier：從泵油中清除污染物的裝置。
2.3.5冷凝器condeer：用以冷凝混合氣流中水蒸汽的裝置。
2.4泵按工作分類2.4.1主泵main pump：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。2.4.2粗抽泵roughing vacuum pump：從大氣壓開始降低系統(tǒng)的壓力到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。
2.4.3前級(jí)真空泵backing vacuum pump：用以維持另一個(gè)泵的前級(jí)壓力在其臨界前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。
2.4.4粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：從大氣開始降低容器壓力的真空泵。
2.4.5維持真空泵holding vacuum pump：在真空系統(tǒng)中，當(dāng)氣體量很小時(shí)，不能有效的利用主前級(jí)泵，為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵維持主泵正常工作或維持已抽空容器所需之低壓的真空泵。
2.4.6高真空泵high vacuum pump：在高真空范圍工作的主真空泵。
2.4.7超高真空泵ultra-high vacuum pump：在超高真空范圍工作的真空泵。
2.4.8增壓真空泵booster vacuum pump：裝于高真空泵和前級(jí)泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量或者降低對(duì)前級(jí)泵容量要求的真空泵。
2.5真空泵特性
2.5.1真空泵的抽氣速率（體積流率）volume flow rate of a vacuum pump：當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。
2.5.2真空泵的抽氣量Q throughput of vacuum pump：流經(jīng)泵入口的流量。
2.5.3起動(dòng)壓力starting preure：泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力。
2.5.4前級(jí)壓力acking preure ：排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。
2.5.5臨界前級(jí)壓力critical backing preure：蒸汽噴射泵或擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵所許可的z*高前級(jí)壓力值，超過了此值就破壞正常工作。當(dāng)前級(jí)壓力稍高于臨界前級(jí)壓力時(shí)，還不致于引起入口壓力的顯著增加。蒸汽流泵的臨界前級(jí)壓力主要決定于抽氣量。 注：某些泵政黨工作的破壞不會(huì)突然出現(xiàn)，所以臨界前級(jí)壓力不能準(zhǔn)確指出。
2.5.6z*大前級(jí)壓力maximum backing preure：超過了能使泵損壞的前級(jí)壓力
2.5.7z*大工作壓力maximum working preure：對(duì)應(yīng)z*大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
2.5.8真空泵的極限壓力ultimate preure of a pump：泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作情況下，趨向穩(wěn)定的z*低壓力。
2.5.9壓縮比compreion ratio：泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
2.5.10何氏系數(shù)Ho coefficient：蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵噴嘴間隙面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
2.5.11抽速系數(shù)eed factor：蒸汽噴射泵或擴(kuò)散泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
2.5.12氣體的反擴(kuò)散back-diffusion of gas：從真空泵出口向入口與抽氣作用相反方向的氣體流動(dòng)。
2.5.13泵液返流back-streaming of pump fluid：泵液通過泵入口（或者附屬擋板或阱）與被抽氣體流動(dòng)方向相反的流動(dòng)。
2.5.14返流率back-streaming rate：泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵液質(zhì)量流率。
2.5.15返遷移back-migration：a蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的泵液分子沿表面移動(dòng)進(jìn)入被抽容器。B油封真空泵的泵油分子沿表面移動(dòng)進(jìn)入被抽容器。
2.5.16爆騰bumping：泵液在鍋爐內(nèi)由于局部過熱產(chǎn)生的不穩(wěn)定蒸發(fā)。
2.5.17水蒸氣允許量qmwater vapor tolerable load：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流率。
2.5.18z*大允許水蒸氣入口壓力maximum tolerable water vapor inlet preure：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)被抽氣體中水蒸氣的z*高入口壓力。
2.5.19蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的加熱時(shí)間warm-up time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：鍋爐中泵液的溫度達(dá)到它正常工作溫度所需要的時(shí)間。起始溫度可以是環(huán)境溫度，也可以是泵安全暴露大氣的溫度。
2.5.20蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵或擴(kuò)散噴射泵的冷卻時(shí)間cool-down time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：泵停止加熱后，鍋爐中的泵液從正常工作溫度降到可以安全暴露大氣時(shí)的溫度所需要的時(shí)間。
