真空系統(tǒng)及有關術語
3.1真空系統(tǒng)vacuum system由真空容器和產(chǎn)生真空、測量真空、控制真空等的組件組成。
3.1.1真空機組pump system：由產(chǎn)生真空、測量真空和控制真空等的組件組成。
3.1.2有油真空機組pump system used oil ：用油作工作液或用有機材料密封的真空機組。
3.1.3無油真空機組oil free pump system：不用油作工作液和不用有機材料密封的真空機組。
3.1.4連續(xù)處理真空設備continuous treatment vacuum plant：能將處理研究的材料或工件連續(xù)地送入到真空容器中，并且又能從真空室輸出而不必中斷設備連續(xù)工序的一種真空設備。
3.1.5閘門式真空系統(tǒng)vacuum system with an air-lock：在不破壞真空情況下，能將工件或材料通過一個或若干個真空閘室導入或?qū)С龅囊环N真空系統(tǒng)。
3.1.6壓差真空系統(tǒng)differentially pumped vacuum system：通過氣體節(jié)流，使互相連接的各個室分別用單獨真空泵抽氣以達到維持壓差（壓降或壓力梯段）目的的一種真空系統(tǒng)。
3.1.7進氣系統(tǒng)gas admittance system：在規(guī)定的和控制的條件下，能將氣體或氣體混合物放入到真空系統(tǒng)的一種裝置。
3.2真空系統(tǒng)特性參量3.2.1抽氣裝置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：在抽氣裝置進氣口測得的抽速。
3.2.2抽氣裝置的抽氣量throughput of a pumping unit ：流經(jīng)抽氣裝置進氣口的氣體流量。
3.2.3真空系統(tǒng)的放氣速率degaing(outgaing) throughput of a vacuum system：由真空系統(tǒng)所有表面解吸氣體所產(chǎn)生的氣體流量。注：在真空系統(tǒng)內(nèi)部經(jīng)常出現(xiàn)一種漏氣假象。這種情況叫做“虛漏”。
3.2.4真空系統(tǒng)的漏氣速率leak throughput of a vacuum system：由于漏氣滲入到真空系統(tǒng)中并影響真空容器中壓力的氣體流量。
3.2.5真空容器的升壓速率rate of preure rise of a vacuum chamber：在溫度保持不變時，抽氣系統(tǒng)關閉后，在給定時間間隔內(nèi)容器的壓力升高量除以該時間隔之商。該商有可能不是恒定的。
3.2.6極限壓力ultimate preure：泵在工作時，空載干燥的真空容器逐漸接近穩(wěn)定的z*低壓力。
3.2.7殘余壓力residual preure：經(jīng)過一定時間的抽氣之后或真空過程結束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體混合物（殘余氣體）的全壓。在某些情況下殘余壓力等于極限壓力。注：在真空技術中，“氣體”一詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應用于蒸汽。
3.2.8殘余氣體譜residual gas ectrum：真空容器中殘余氣體的質(zhì)譜。
3.2.9基礎壓力base preure：在真空容器中可以開始實施工藝時的壓力。注：在某些真空工藝中，例如表面的分析，基礎壓力也稱作為“本底壓力”。
3.2.10工作壓力working preure：在真空容器中為實施工藝所必需的壓力（可能還有壓力范圍）。
3.2.11粗抽時間roughing time：前級真空泵或前級真空抽氣裝置從大氣壓抽至基礎壓力或抽至在較低壓力下工作的真空泵的起動壓力所需要的時間。3.2.12抽氣時間pump-down time：將真空系統(tǒng)的壓力從大氣壓降低到一定壓力，例如降到基礎壓力所需要的時間。
3.2.13真空系統(tǒng)時間常數(shù)time cotant of a vacuum system：將真空容器中的壓力降低到初始壓力的1/e所需要的時間。在抽速恒定時，該時間常數(shù)為容器體積除以抽氣系統(tǒng)的抽速得出之商。
3.2.14真空系統(tǒng)進氣時間venting time：經(jīng)過規(guī)定的裝置放入的空氣使真空系統(tǒng)（或真空容器）內(nèi)的壓力由工作壓力升高到較高的壓力（一般到大氣壓）所需要的時間。如果放入的是空氣，那么該時間稱作為“通大氣時間”。
3.3真空容器
3.3.1真空容器；真空室vacuum chamber：根據(jù)力學計算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器。
3.3.2封離真空裝置sealed vacuum device：容器被抽空之后將其封離或者以別的方法用永久性的封接將其封離的一種真空容器。例如電子管，X-射線管。
3.3.3真空鐘罩vacuum bell jar：借助于一個可拆卸的連接件，將其放置到另一個組件（一般說來是一塊底板）上并同這個組件共同組成一個真空室的鐘罩形組件。
3.3.4真空容器底板vacuum baselate：真空容器底板通常位于真空設備抽氣系統(tǒng)進氣口上并包含有實施過程所必要的真空引入線。
3.3.5真空岐管vacuum manifold：可以和兩個或若干個真空容器相連可以同時進行抽氣的一種真空密封分配件。
3.3.6前級真空容器（貯氣罐）backing reservoir：設置在前級真空泵和其前級真空閥之間的容器。在前級真空泵斷開時，它用來容納被抽氣體和（或）平衡壓力的變化。
3.3.7真空保護層outer chamber：將一個真空容器全部或部分包圍的一種真空密封容器。它用來減少漏氣率和（或）降低作用于器壁 的壓力。真空保護層中所存在的真空稱作為“保護真空”。
3.3.8真空閘室vacuum air lock：連接在兩個不同壓力空間之間的真空室。它具有能與這個或那個相接的空間相適應壓力的連接裝置和能將物件從這個空間輸送到那個空間而在這些空間中壓力不發(fā)生干擾性變化的開孔（全部或部分可以關閉）。一般來說這些裝置和開孔用于將物件從大氣送入到真空容器中或從真空容器中取出到大氣中。
3.3.9真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condeing vapor：內(nèi)部帶有冷卻面、設置于真空室和抽氣系統(tǒng)之間用于冷凝大量蒸汽的一種真空容器。通常它有一個可閉鎖的冷凝液收集罐能在不中斷真空過程情況下排出液體冷凝物。
3.4真空封接和真空引入線
3.4.1永久性真空封接permanent seal ：不能以簡單的方式加以制造或拆卸的一種真空連接。例如：釬焊的真空連接，焊接的真空連接；玻璃-玻璃封接；玻璃-金屬封接。
3.4.2玻璃分級過渡封接graded seal ：由具有不同熱膨脹系數(shù)的各種玻璃組成的一種永久性真空封接。因此避免了在各連接元件內(nèi)不希望有的大應力（所謂麥桿式封接）。
3.4.3壓縮玻璃金屬封接compreion gla-to-metal seal：將玻璃同金屬或合金熔接在一起，并使玻璃始終處于壓縮應變之下的一種永久性真空連接。
3.4.4匹配式玻璃金屬封接matched gla-to-metal seal：通過將玻璃熔接到金屬或合金上所制得的密封，使金屬或合金在很大的溫度范圍內(nèi)其熱膨脹系數(shù)幾乎與玻璃相同的一種永久性真空連接。
3.4.5陶瓷金屬封接ceramic-to-metal seal：將陶瓷零件的金屬化表面與一個金屬零件釬焊在一起的一種永久性真空連接。
3.4.6半永久性真空封接semi-permanent seal ： 用蠟、膠、漆或類似物質(zhì)接合的一種真空連接。
3.4.7可拆卸的真空封接demountable joint：用簡單的方式，一般說來用機械的方法可以拆卸又可以重新組裝起來的一種真空連接。
3.4.8液體真空封接liquid seal ：借助于低蒸汽壓液體進行密封的一種可拆卸式真空連接。
3.4.9熔融金屬真空封接molten metal seal：用低熔點金屬進行密封的一種可拆卸式真空連接。加熱金屬使密封進行拆卸或組合。
3.4.10研磨面搭接封接ground and laed seal：由兩個經(jīng)研磨的表面構成的一種可拆卸式真空連接。研磨面可以是平面形狀、球形或錐狀，通常它們都涂以油脂。
3.4.11真空法蘭連接vacuum flange coection：在兩個法蘭之間用一個適宜的可變形的密封件造成一個真空密封連接的一種可拆卸式真空連接。
3.4.12真空密封墊vacuum-tight gasket：放置于兩個零件之間的一個可拆卸的真空連接件，用其進行密封的一種可變形的構件。在某些場合借助于支承架（例如墊圈密封），材料的選擇要視所要求的真空范圍而定，通常用彈性體或金屬。
3.4.13真空密封圈ring gasket：一種環(huán)形真空密封件。注：有各種不同截面形狀的真空密封圈，例如：“O”形密封圈 ，“V” 形密封圈，“ L” 形密封圈和其它型材的密封件（金屬型材密封件）。
3.4.14真空平密封墊flat gasket：用扁平材料制得的一種真空密封件。
3.4.15真空引入線feedthrough leadthrough：通過真空容器器壁使運動氣體或液體、電流或電壓傳遞或引入的一種裝置。這種裝置通常支承在真空容器對大氣密封的法蘭上。在真空中能用來做多種運動，一般說來作平動和旋轉運動的傳遞運動的真空引入線稱作為“多關節(jié)操作機。”
3.4.16真空軸密封shaft seal：用來密封軸的一種真空密封件，它能將旋轉和（或）移動運動相對地傳遞到真空容器器壁內(nèi)。
3.4.17真空窗vacuum window：裝在真空容器器壁上能使電磁輻射或微粒輻射穿透的一種裝置（例如列納爾特窗）。
3.4.18觀察窗viewing window：作為觀察裝置運轉情況的一種真空窗。注：在某些應用場合必須對觀察窗的光學性能提出一定的要求。
3.5真空閥門
3.5.1真空閥門的特性characteristic of vacuum valves：主要是指真空閥門外殼的對大氣的真空密封性，真空閥門的流導和真空閥門的閥座漏氣率。
3.5.1.1真空閥門的流導conductance of vacuum valves：在閥門打開狀態(tài)下的氣體流動的流導。注：在樣本中，真空閥門的流導常常以“當量管長度”列出，這里設管的名義口徑與閥的名義口徑相同。
3.5.1.2真空閥門的閥座漏氣率leak rate of the vacuum seat：在關閉狀態(tài)下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類、壓力、溫度和閥門出、進氣口的壓差。
3.5.2真空調(diào)節(jié)閥regulating valve：能調(diào)節(jié)由真空閥隔開的真空系統(tǒng)部件之間的流率的一種真空閥。
3.5.3微調(diào)閥 micro-adjustable valve：用來微量調(diào)節(jié)進入真空系統(tǒng)中的氣體量的真空閥。
3.5.4充氣閥charge valve：把氣體充入真空系統(tǒng)的閥。3.5.5進氣閥gas admittance valve：將氣體放入到真空系統(tǒng)中的一種真空控制閥。
3.5.6真空截止閥break valve：用來使真空系統(tǒng)的兩個部分相隔離的一種真空閥。通常它不能當作控制閥使用。
3.5.7前級真空閥backing valve：在前級真空管路中用來使前級真空泵和與其相連的真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.8旁通閥 by-pa valve：在旁通管路中的一種真空截止閥。
3.5.9主真空閥main vacuum valve：用來使真空容器同主真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.10低真空閥low vacuum valve：在低真空管路中，用來使真空容器同其粗抽真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.11高真空閥high vacuum valve：符合高真空技術要求的主要在該真空區(qū)域內(nèi)使用的一種真空閥。
3.5.12超高真空閥；UHV閥 ultra-high vacuum valve：符合超高真空技術要求的主要在該真空區(qū)域內(nèi)使用的一種真空閥。超高真空閥的閥座和密封墊通常由金屬制成，可以進行烘烤。
3.5.13手動閥manually operated valve：用手開閉的閥。
3.5.14氣動閥eumatically operated valve：用壓縮氣體為動力開閉的閥。
3.5.15電磁閥electromagnetically operated valve：用電磁力為動力開閉的閥。
3.5.16電動閥valve with electrically motorized operation：用電機開閉的閥。
3.5.17擋板閥baffle valve：閥板沿閥座軸向移動開閉的閥。
3.5.18翻板閥flap valve：閥板翻轉一個角度開閉的閥。
3.5.19插板閥gate valve：閥板沿閥座徑向移動開閉的閥。
3.5.20蝶閥butterfly valve：閥板繞固定軸在閥口中轉動開閉的閥。
3.6真空管路
3.6.1粗抽管路roughing line：連接被抽容器與用于粗抽的真空泵的一種真空管路系統(tǒng)。
3.6.2前級真空管路backing line：連接前級真空泵的一種真空管路系統(tǒng)。
3.6.3旁通管路；By-Pa管路 by-pa line：與真空系統(tǒng)管路并聯(lián)裝配的一種真空管路系統(tǒng)。它可同時和系統(tǒng)管路一起工作或者可以單獨工作。
3.6.4抽氣封口接頭pumping stem：用于容器的抽氣，在抽氣結束后通常進行真空密封連接，一般來說不能拆卸的一種連接管。
3.6.5真空限流件limiting conductance：在真空管路上，用來限制氣體流經(jīng)管路的一個特殊件，通常它是指隔板或毛細管。
3.6.6過濾器filter：真空管路中清除固體微粒并防止其落入真空泵中的裝置。
3.1.1真空機組pump system：由產(chǎn)生真空、測量真空和控制真空等的組件組成。
3.1.2有油真空機組pump system used oil ：用油作工作液或用有機材料密封的真空機組。
3.1.3無油真空機組oil free pump system：不用油作工作液和不用有機材料密封的真空機組。
3.1.4連續(xù)處理真空設備continuous treatment vacuum plant：能將處理研究的材料或工件連續(xù)地送入到真空容器中，并且又能從真空室輸出而不必中斷設備連續(xù)工序的一種真空設備。
3.1.5閘門式真空系統(tǒng)vacuum system with an air-lock：在不破壞真空情況下，能將工件或材料通過一個或若干個真空閘室導入或?qū)С龅囊环N真空系統(tǒng)。
3.1.6壓差真空系統(tǒng)differentially pumped vacuum system：通過氣體節(jié)流，使互相連接的各個室分別用單獨真空泵抽氣以達到維持壓差（壓降或壓力梯段）目的的一種真空系統(tǒng)。
3.1.7進氣系統(tǒng)gas admittance system：在規(guī)定的和控制的條件下，能將氣體或氣體混合物放入到真空系統(tǒng)的一種裝置。
3.2真空系統(tǒng)特性參量3.2.1抽氣裝置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：在抽氣裝置進氣口測得的抽速。
3.2.2抽氣裝置的抽氣量throughput of a pumping unit ：流經(jīng)抽氣裝置進氣口的氣體流量。
3.2.3真空系統(tǒng)的放氣速率degaing(outgaing) throughput of a vacuum system：由真空系統(tǒng)所有表面解吸氣體所產(chǎn)生的氣體流量。注：在真空系統(tǒng)內(nèi)部經(jīng)常出現(xiàn)一種漏氣假象。這種情況叫做“虛漏”。
3.2.4真空系統(tǒng)的漏氣速率leak throughput of a vacuum system：由于漏氣滲入到真空系統(tǒng)中并影響真空容器中壓力的氣體流量。
3.2.5真空容器的升壓速率rate of preure rise of a vacuum chamber：在溫度保持不變時，抽氣系統(tǒng)關閉后，在給定時間間隔內(nèi)容器的壓力升高量除以該時間隔之商。該商有可能不是恒定的。
3.2.6極限壓力ultimate preure：泵在工作時，空載干燥的真空容器逐漸接近穩(wěn)定的z*低壓力。
3.2.7殘余壓力residual preure：經(jīng)過一定時間的抽氣之后或真空過程結束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體混合物（殘余氣體）的全壓。在某些情況下殘余壓力等于極限壓力。注：在真空技術中，“氣體”一詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應用于蒸汽。
3.2.8殘余氣體譜residual gas ectrum：真空容器中殘余氣體的質(zhì)譜。
3.2.9基礎壓力base preure：在真空容器中可以開始實施工藝時的壓力。注：在某些真空工藝中，例如表面的分析，基礎壓力也稱作為“本底壓力”。
3.2.10工作壓力working preure：在真空容器中為實施工藝所必需的壓力（可能還有壓力范圍）。
3.2.11粗抽時間roughing time：前級真空泵或前級真空抽氣裝置從大氣壓抽至基礎壓力或抽至在較低壓力下工作的真空泵的起動壓力所需要的時間。3.2.12抽氣時間pump-down time：將真空系統(tǒng)的壓力從大氣壓降低到一定壓力，例如降到基礎壓力所需要的時間。
3.2.13真空系統(tǒng)時間常數(shù)time cotant of a vacuum system：將真空容器中的壓力降低到初始壓力的1/e所需要的時間。在抽速恒定時，該時間常數(shù)為容器體積除以抽氣系統(tǒng)的抽速得出之商。
3.2.14真空系統(tǒng)進氣時間venting time：經(jīng)過規(guī)定的裝置放入的空氣使真空系統(tǒng)（或真空容器）內(nèi)的壓力由工作壓力升高到較高的壓力（一般到大氣壓）所需要的時間。如果放入的是空氣，那么該時間稱作為“通大氣時間”。
3.3真空容器
3.3.1真空容器；真空室vacuum chamber：根據(jù)力學計算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器。
3.3.2封離真空裝置sealed vacuum device：容器被抽空之后將其封離或者以別的方法用永久性的封接將其封離的一種真空容器。例如電子管，X-射線管。
3.3.3真空鐘罩vacuum bell jar：借助于一個可拆卸的連接件，將其放置到另一個組件（一般說來是一塊底板）上并同這個組件共同組成一個真空室的鐘罩形組件。
3.3.4真空容器底板vacuum baselate：真空容器底板通常位于真空設備抽氣系統(tǒng)進氣口上并包含有實施過程所必要的真空引入線。
3.3.5真空岐管vacuum manifold：可以和兩個或若干個真空容器相連可以同時進行抽氣的一種真空密封分配件。
3.3.6前級真空容器（貯氣罐）backing reservoir：設置在前級真空泵和其前級真空閥之間的容器。在前級真空泵斷開時，它用來容納被抽氣體和（或）平衡壓力的變化。
3.3.7真空保護層outer chamber：將一個真空容器全部或部分包圍的一種真空密封容器。它用來減少漏氣率和（或）降低作用于器壁 的壓力。真空保護層中所存在的真空稱作為“保護真空”。
3.3.8真空閘室vacuum air lock：連接在兩個不同壓力空間之間的真空室。它具有能與這個或那個相接的空間相適應壓力的連接裝置和能將物件從這個空間輸送到那個空間而在這些空間中壓力不發(fā)生干擾性變化的開孔（全部或部分可以關閉）。一般來說這些裝置和開孔用于將物件從大氣送入到真空容器中或從真空容器中取出到大氣中。
3.3.9真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condeing vapor：內(nèi)部帶有冷卻面、設置于真空室和抽氣系統(tǒng)之間用于冷凝大量蒸汽的一種真空容器。通常它有一個可閉鎖的冷凝液收集罐能在不中斷真空過程情況下排出液體冷凝物。
3.4真空封接和真空引入線
3.4.1永久性真空封接permanent seal ：不能以簡單的方式加以制造或拆卸的一種真空連接。例如：釬焊的真空連接，焊接的真空連接；玻璃-玻璃封接；玻璃-金屬封接。
3.4.2玻璃分級過渡封接graded seal ：由具有不同熱膨脹系數(shù)的各種玻璃組成的一種永久性真空封接。因此避免了在各連接元件內(nèi)不希望有的大應力（所謂麥桿式封接）。
3.4.3壓縮玻璃金屬封接compreion gla-to-metal seal：將玻璃同金屬或合金熔接在一起，并使玻璃始終處于壓縮應變之下的一種永久性真空連接。
3.4.4匹配式玻璃金屬封接matched gla-to-metal seal：通過將玻璃熔接到金屬或合金上所制得的密封，使金屬或合金在很大的溫度范圍內(nèi)其熱膨脹系數(shù)幾乎與玻璃相同的一種永久性真空連接。
3.4.5陶瓷金屬封接ceramic-to-metal seal：將陶瓷零件的金屬化表面與一個金屬零件釬焊在一起的一種永久性真空連接。
3.4.6半永久性真空封接semi-permanent seal ： 用蠟、膠、漆或類似物質(zhì)接合的一種真空連接。
3.4.7可拆卸的真空封接demountable joint：用簡單的方式，一般說來用機械的方法可以拆卸又可以重新組裝起來的一種真空連接。
3.4.8液體真空封接liquid seal ：借助于低蒸汽壓液體進行密封的一種可拆卸式真空連接。
3.4.9熔融金屬真空封接molten metal seal：用低熔點金屬進行密封的一種可拆卸式真空連接。加熱金屬使密封進行拆卸或組合。
3.4.10研磨面搭接封接ground and laed seal：由兩個經(jīng)研磨的表面構成的一種可拆卸式真空連接。研磨面可以是平面形狀、球形或錐狀，通常它們都涂以油脂。
3.4.11真空法蘭連接vacuum flange coection：在兩個法蘭之間用一個適宜的可變形的密封件造成一個真空密封連接的一種可拆卸式真空連接。
3.4.12真空密封墊vacuum-tight gasket：放置于兩個零件之間的一個可拆卸的真空連接件，用其進行密封的一種可變形的構件。在某些場合借助于支承架（例如墊圈密封），材料的選擇要視所要求的真空范圍而定，通常用彈性體或金屬。
3.4.13真空密封圈ring gasket：一種環(huán)形真空密封件。注：有各種不同截面形狀的真空密封圈，例如：“O”形密封圈 ，“V” 形密封圈，“ L” 形密封圈和其它型材的密封件（金屬型材密封件）。
3.4.14真空平密封墊flat gasket：用扁平材料制得的一種真空密封件。
3.4.15真空引入線feedthrough leadthrough：通過真空容器器壁使運動氣體或液體、電流或電壓傳遞或引入的一種裝置。這種裝置通常支承在真空容器對大氣密封的法蘭上。在真空中能用來做多種運動，一般說來作平動和旋轉運動的傳遞運動的真空引入線稱作為“多關節(jié)操作機。”
3.4.16真空軸密封shaft seal：用來密封軸的一種真空密封件，它能將旋轉和（或）移動運動相對地傳遞到真空容器器壁內(nèi)。
3.4.17真空窗vacuum window：裝在真空容器器壁上能使電磁輻射或微粒輻射穿透的一種裝置（例如列納爾特窗）。
3.4.18觀察窗viewing window：作為觀察裝置運轉情況的一種真空窗。注：在某些應用場合必須對觀察窗的光學性能提出一定的要求。
3.5真空閥門
3.5.1真空閥門的特性characteristic of vacuum valves：主要是指真空閥門外殼的對大氣的真空密封性，真空閥門的流導和真空閥門的閥座漏氣率。
3.5.1.1真空閥門的流導conductance of vacuum valves：在閥門打開狀態(tài)下的氣體流動的流導。注：在樣本中，真空閥門的流導常常以“當量管長度”列出，這里設管的名義口徑與閥的名義口徑相同。
3.5.1.2真空閥門的閥座漏氣率leak rate of the vacuum seat：在關閉狀態(tài)下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類、壓力、溫度和閥門出、進氣口的壓差。
3.5.2真空調(diào)節(jié)閥regulating valve：能調(diào)節(jié)由真空閥隔開的真空系統(tǒng)部件之間的流率的一種真空閥。
3.5.3微調(diào)閥 micro-adjustable valve：用來微量調(diào)節(jié)進入真空系統(tǒng)中的氣體量的真空閥。
3.5.4充氣閥charge valve：把氣體充入真空系統(tǒng)的閥。3.5.5進氣閥gas admittance valve：將氣體放入到真空系統(tǒng)中的一種真空控制閥。
3.5.6真空截止閥break valve：用來使真空系統(tǒng)的兩個部分相隔離的一種真空閥。通常它不能當作控制閥使用。
3.5.7前級真空閥backing valve：在前級真空管路中用來使前級真空泵和與其相連的真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.8旁通閥 by-pa valve：在旁通管路中的一種真空截止閥。
3.5.9主真空閥main vacuum valve：用來使真空容器同主真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.10低真空閥low vacuum valve：在低真空管路中，用來使真空容器同其粗抽真空泵隔離的一種真空截止閥。
3.5.11高真空閥high vacuum valve：符合高真空技術要求的主要在該真空區(qū)域內(nèi)使用的一種真空閥。
3.5.12超高真空閥；UHV閥 ultra-high vacuum valve：符合超高真空技術要求的主要在該真空區(qū)域內(nèi)使用的一種真空閥。超高真空閥的閥座和密封墊通常由金屬制成，可以進行烘烤。
3.5.13手動閥manually operated valve：用手開閉的閥。
3.5.14氣動閥eumatically operated valve：用壓縮氣體為動力開閉的閥。
3.5.15電磁閥electromagnetically operated valve：用電磁力為動力開閉的閥。
3.5.16電動閥valve with electrically motorized operation：用電機開閉的閥。
3.5.17擋板閥baffle valve：閥板沿閥座軸向移動開閉的閥。
3.5.18翻板閥flap valve：閥板翻轉一個角度開閉的閥。
3.5.19插板閥gate valve：閥板沿閥座徑向移動開閉的閥。
3.5.20蝶閥butterfly valve：閥板繞固定軸在閥口中轉動開閉的閥。
3.6真空管路
3.6.1粗抽管路roughing line：連接被抽容器與用于粗抽的真空泵的一種真空管路系統(tǒng)。
3.6.2前級真空管路backing line：連接前級真空泵的一種真空管路系統(tǒng)。
3.6.3旁通管路；By-Pa管路 by-pa line：與真空系統(tǒng)管路并聯(lián)裝配的一種真空管路系統(tǒng)。它可同時和系統(tǒng)管路一起工作或者可以單獨工作。
3.6.4抽氣封口接頭pumping stem：用于容器的抽氣，在抽氣結束后通常進行真空密封連接，一般來說不能拆卸的一種連接管。
3.6.5真空限流件limiting conductance：在真空管路上，用來限制氣體流經(jīng)管路的一個特殊件，通常它是指隔板或毛細管。
3.6.6過濾器filter：真空管路中清除固體微粒并防止其落入真空泵中的裝置。
