油擴(kuò)散泵的應(yīng)用量大面廣，對(duì)各類氣體都能有效抽氣，還具有成本低、無(wú)振動(dòng)噪音、使用及維護(hù)保養(yǎng)方便等優(yōu)點(diǎn),但其工作區(qū)域，尤其是高壓強(qiáng)段抽氣范圍，卻受很大局限。問題的提出在于一些大放氣量的真空鍍膜設(shè)備如磁控濺射鍍膜機(jī)、卷繞式真空鍍膜機(jī)等，特別是后者，其工作真空常在lO-1Pa范圍，且有持續(xù)的大放氣量。因而在真空系統(tǒng)的真空泵選配上要求主抽氣泵在10-2～10-1Pa范圍內(nèi)要有較大的抽速，且極限真空要優(yōu)于lO-3Pa。
        傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵，一般在10-3～lO-2Pa一個(gè)半數(shù)量級(jí)范圍內(nèi)保持z*大值抽速，其抽速曲線的恒定滿抽速段普遍延伸至7×lO-2Pa左右(凸腔泵還要差一些)。如進(jìn)氣口壓強(qiáng)超過(guò)臨界范圍，便會(huì)導(dǎo)致油蒸汽射流的破壞，抽速曲線開始急劇衰減。而油增壓泵雖能在l0-1～10Pa約二個(gè)半數(shù)量級(jí)內(nèi)具備有效的抽速，但lO-2Pa范圍抽速太差，更欠缺的是極限真空只在lO-2Pa水平。這就使得設(shè)計(jì)鍍膜機(jī)時(shí)在真空系統(tǒng)的真空泵選配上，為如何兼顧真空度和抽氣效率而頗費(fèi)躊躇。
        顯然,這一問題的解決不是擴(kuò)散泵或油增壓泵所能單獨(dú)勝任的,只能設(shè)法如何兼顧其在真空度和抽氣量方面的各自優(yōu)勢(shì).也正由于此,提出了在原有擴(kuò)散泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行擴(kuò)展其抽氣范圍的設(shè)想.其主要手段是以擴(kuò)散泵抽氣特性為出發(fā)點(diǎn),參照擴(kuò)散泵和油增壓泵各自性能和結(jié)構(gòu)特點(diǎn),增強(qiáng)其高壓強(qiáng)段抽速,擴(kuò)展延伸抽氣曲線.如此改進(jìn)的泵種我們稱其為擴(kuò)散增壓泵.近年來(lái)我們研制出并大量用于鍍膜設(shè)備的大口徑擴(kuò)增泵(KZ系列)有Ф600、Ф630、Ф800三種,在性能調(diào)試中獲得了較多的有益數(shù)據(jù),也積累了一些經(jīng)驗(yàn)。