真空泵的選擇   
       真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。
       因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到z*佳配置，選擇真空系統(tǒng)時，應考慮下述各點： 確定工作真空范圍: s*先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。
       確定極限真空度  在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的z*佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 被抽氣體種類與抽氣量 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 真空容積 檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計算 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中： S為真空泵抽氣速率(L/s) V為真空室容積（L） t為達到要求真空度所需時間(s) P1為初始真空度(Torr) P2為要求真空度(Torr) 例如： V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr 則: S=2.303V/t Log(P1/P2) =2.303x500/30xLog(760/50) =35.4L/s 當然上式只是理論計算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實際上還應當將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。 中科院沈陽科儀中心