液環(huán)真空泵在工作時，在一定溫度下，當低壓處的液體壓力低于在該溫度下的汽化壓力（即飽和蒸汽壓），液體開始汽化而產生氣泡，并隨液體進入高壓區(qū)時，氣泡破裂，周圍液體迅速填充原氣泡空穴，產生水力沖擊。這種氣泡的產生、發(fā)展和破裂現象就稱為汽蝕。
在液環(huán)真空泵的工作過程中，吸入區(qū)域的絕對壓力與被抽系統(tǒng)的絕對壓力是一致的。也就是說，被抽系統(tǒng)的真空度越高，吸入區(qū)域的真空度也越高。
液環(huán)真空泵需要用液體作為工作介質。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入區(qū)域的絕對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態(tài)。
這時，在吸入區(qū)域的工作液表面會產生大量的汽泡，由于液體在工作腔內產生的工作液蒸汽會占據部分工作腔的空間，泵對外的吸氣能力會有所下降。當吸入區(qū)域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為工作腔內全部充滿了工作液蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于0，而此時泵的汽蝕現象也最為嚴重。
如果工作液是水，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多。
液環(huán)泵的汽蝕損壞和離心式水泵的汽蝕損壞原理是一樣的，都是在汽泡產生和破裂的部位，金屬表面出現點蝕現象，嚴重的會出現蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應力，還會引起應力釋放，產生裂紋。
由于泵汽蝕時，氣泡在高壓區(qū)連續(xù)發(fā)生突然破裂，以及伴隨的強烈水擊，而產生噪聲和振動?？梢月牭较癖顾频呐九镜穆曇?。實測結果表明，汽蝕引起的振動頻率范圍為600～25000Hz，壓力達49MPa。
如果上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續(xù)強烈的水擊，出現麻點，金屬晶粒松動并剝落而成蜂窩狀，甚至穿孔。汽蝕破壞除機械作用外，還伴隨有電解、化學腐蝕等多種復雜的作用。實際破壞情況表明，泵過流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方。
汽蝕現象的預防措施及消除方法
液環(huán)真空泵在汽蝕狀態(tài)下長時間工作，會造成泵的噪聲、振動變大，甚至對泵造成損壞，因此應盡量避免液環(huán)真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過以下方法：
1、降低工作液的溫度
在液環(huán)真空泵工作點為固定值的前提下，降低工作液的溫度可以達到防止汽蝕的效果。
2、使真空泵運行在安全區(qū)域，提高選型的準確性
這要求在選型階段，選擇液環(huán)真空泵吸入壓力及工作液溫度時盡量避開液環(huán)泵容易發(fā)生汽蝕的壓力范圍。
