真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

        近半個(gè)世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對(duì)人類社會(huì)起了很大的推動(dòng)作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對(duì)科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過(guò)程都與真空技術(shù)有關(guān)。微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國(guó)家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過(guò)了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國(guó)民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的第一位。
        在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。未來(lái)的家電中將主要為新的四大件:具有多媒體的彩電、計(jì)算機(jī)和音響組合體的多功能信息系統(tǒng);具有真空冷凍和真空保鮮功能的電冰箱;具有真空脫水功能的洗衣機(jī)以及具有監(jiān)控室內(nèi)空氣新鮮程度的空調(diào)器。這些家用電器中,有的直接應(yīng)用真空技術(shù),有的間接利用真空技術(shù)得到的加工成果。因?yàn)椴徽撌怯?jì)算機(jī),還是各種自動(dòng)化電器,它們的基礎(chǔ)是微電子器件。其中z*重要的是在規(guī)模集成電路。
        現(xiàn)今提起微電子器件幾乎是家喻戶曉,老幼皆知,因?yàn)樗诂F(xiàn)今人類社會(huì)的生產(chǎn)和生活中的作用是任何其它工業(yè)產(chǎn)品不能與之相比的。微電子器件的發(fā)展,將推動(dòng)人類社會(huì)更快地進(jìn)步。微電子器件的發(fā)展趨勢(shì)是大規(guī)模集成電路,集成度越來(lái)越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來(lái)越小。其規(guī)律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個(gè)月同樣大小芯片上的元件數(shù)增加一倍。過(guò)去20年是這樣,電子學(xué)家預(yù)言,未來(lái)的15年仍是這樣。