無油渦旋真空泵技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用

        無油渦旋真空泵技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用 寧憲寧中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
        一、引言 渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn)，20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專利。但由于當(dāng)時技術(shù)水平的限制，渦旋機構(gòu)制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構(gòu)被重新提起并制造出第一臺模型機構(gòu)，使這項技術(shù)實際應(yīng)用成為可能。渦旋機構(gòu)的可靠性高、運行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術(shù)與產(chǎn)品引領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實現(xiàn)了全無油、運行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。上個世紀(jì)90年代初，世界上s*臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術(shù)由此開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anestta、美國的Varian、德國的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。
        二、無油渦旋真空泵的特點與應(yīng)用領(lǐng)域 清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點: ①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動??；⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；⑥.體積小，維修方便，維護費用低；⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。目前無油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域為:①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；③.機械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；④.化學(xué)工業(yè)；⑤．醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。