一、結(jié)構(gòu)要求

1、設(shè)備的結(jié)構(gòu)應(yīng)布局合理，造型美觀，操作方便，便于維修。

2、設(shè)備中靜、動密封的結(jié)構(gòu)形式及尺寸應(yīng)符合GB/T 6070和JB/T 1090～1092的規(guī)定。

3、在低真空和高真空管道及鍍膜室上應(yīng)裝設(shè)真空規(guī)管，分別測量各部位的壓力。

4、如果設(shè)備的真空機(jī)組以擴(kuò)散泵為主泵，應(yīng)在擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口安裝擋板或冷阱。

5、鍍膜室應(yīng)有觀察窗，對在鍍膜過程中發(fā)生射線的設(shè)備，觀察窗上應(yīng)加裝防射線鏡片。

6、帶工件烘烤裝置的設(shè)備，應(yīng)有測溫電極或測溫裝置。

7、工件架旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)速應(yīng)符合產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求。

8、裝有離子轟擊裝置或?qū)捠湍茈x子源裝置的設(shè)備，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)要求規(guī)定的參數(shù)范圍內(nèi)應(yīng)能正常連續(xù)穩(wěn)定工作30分鐘以上。

9、采用鎢絲作為蒸發(fā)熱源的加熱器應(yīng)能使蒸鍍材料正常蒸發(fā)，且在蒸發(fā)過程中，加熱器的幾何形狀應(yīng)不影響正常蒸發(fā)。

10、設(shè)備的蒸發(fā)源工作狀況應(yīng)穩(wěn)定，易于調(diào)節(jié)控制。對各類蒸發(fā)源(如電阻蒸發(fā)源、電子束蒸發(fā)源、離子束蒸發(fā)源、激光蒸發(fā)源、感應(yīng)式蒸發(fā)源等)的技術(shù)要求應(yīng)按相應(yīng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)作具體規(guī)定。

11、設(shè)備采用低電壓、大電流電阻蒸發(fā)源時，每個蒸發(fā)源加熱器應(yīng)在電壓4V～20V，電流50A～180A狀態(tài)下正常工作。

二、制造要求

1、設(shè)備的零部件機(jī)械加工質(zhì)量及焊接件質(zhì)量、裝配質(zhì)量應(yīng)符合制造廠技術(shù)文件的規(guī)定。

2、設(shè)備鍍膜室內(nèi)表面及各密封表面的粗糙度Ra值應(yīng)不大于1.6um，且對工作時處于真空狀態(tài)的各表面 應(yīng)進(jìn)行有效的真空清潔處理并予以干燥。各轉(zhuǎn)動件、升降機(jī)構(gòu)等動作應(yīng)靈活，不得有卡、滯、松、抖及異常聲響等現(xiàn)象，需用潤滑脂的動密封處應(yīng)充入適量真空油脂。

3、設(shè)備主要零部件的材料應(yīng)符合相應(yīng)的材料標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

4、設(shè)備配套的電氣裝置的質(zhì)量應(yīng)符合制造廠技術(shù)文件的規(guī)定，并應(yīng)保證設(shè)備運(yùn)行和操作時安全可靠。

5、設(shè)備的外觀質(zhì)量應(yīng)做到?jīng)]有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件結(jié)合面的邊沿應(yīng)整齊勻稱，不得有明顯錯位。金屬零件的鍍層應(yīng)牢固，無脫落及生銹等現(xiàn)象，所有堅(jiān)固件應(yīng)有防銹層。設(shè)備的涂漆表面應(yīng)光潔、美觀、牢固、無脫落、起皮等現(xiàn)象。

6、設(shè)備中外購的配套產(chǎn)品，應(yīng)符合相應(yīng)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，并應(yīng)有質(zhì)量合格證。設(shè)備中自制的配套產(chǎn)品，經(jīng)制造廠檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格后方可使用。

7、設(shè)備中各類蒸發(fā)源、輔助離子源及離子轟擊、工件旋轉(zhuǎn)、工件烘烤、工件偏壓、膜厚監(jiān)控等裝置。應(yīng)逐項(xiàng)調(diào)試和聯(lián)合調(diào)試，其性能均應(yīng)達(dá)到設(shè)計(jì)要求，運(yùn)行可靠。工件加熱到額定溫度，真空室外表面溫度不得高于45度，設(shè)備運(yùn)動部分應(yīng)能正常工作。