真空工藝進行前應清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物；車燈鍍膜機零部件的表面清洗處理也是很有必要的，因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。

污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”，多弧離子鍍膜機根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價態(tài)，可以是無機物或有機物。

暴露在空氣中的表面z*易受到污染，污染的來源有多種，z*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學反應、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。

①油脂：加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；

②水基類：操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等；

③表面氧化物：材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物；

④酸、堿、鹽類物質(zhì)：清洗時的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等；

⑤拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物等。

清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。

前期到位的清洗工作可以減少很多麻煩，避免濺控濺射鍍膜機很多小問題的發(fā)生，對工作效率、真空鍍膜機鍍膜質(zhì)量都具有非常積極的作?？纱蟠筇岣哒婵障到y(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括：高溫、低溫、以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。