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多弧磁控真空鍍膜機應如何使用及維護
標簽: 真空鍍膜
2015-10-12  閱讀

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真空鍍膜機其工作原理是在真空狀態(tài)下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不銹鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結合牢固,適合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的發(fā)展前景。

多弧磁控鍍膜機 使用及維護要點:

使用前各電源開關及操作按鈕應處于斷開位置,接通水源,氣源,電源。

1)打開真空控制電源開關。

2)開維持擴散泵抽低真空,并測量前級真空度。

3)待前級壓力達到5.0*10pa后,開擴散泵加熱。

4)開充氣閥,對鍍膜室充氣,打開鍍膜室門,裝好清洗干凈的工件,關好爐門。

5)待擴散泵正常工作一小時后,開機械泵開預抽閥,對真空室手抽真空至1.0*103pa,然后開羅茨泵

6)當壓力達到3.0*10pa后,關預抽閥,開前級閥。開高真閥,對鍍膜室抽高真空。

7)當真空室壓力達到8*10-3pa后開工作旋轉,并開加熱至設定值。

8)開始鍍膜操作程序。

9)鍍膜操作程序結束。

10)降爐溫至100oC以下,打開充氣閥爐門取出工件,每一爐使用之前對爐內進行清潔。

11)一個工作周期后,要用吸塵器把鍍膜室內的粉塵吸干凈,避免短路或污染真空系統(tǒng)。

12)經過一段時間要取下?lián)醢暹M行清洗。