圖 固體濺射過(guò)程級(jí)聯(lián)碰撞示意圖
由此可見(jiàn),濺射過(guò)程即為入射離子通過(guò)一系列碰撞進(jìn)行能量交換的過(guò)程,入射離子轉(zhuǎn)移到逸出的濺射原子上的能量大約只有原來(lái)能量的1%,大部分能量則通過(guò)級(jí)聯(lián)碰撞而消耗在靶的表面層中,并轉(zhuǎn)化為晶格的振動(dòng)。濺射原子大多數(shù)來(lái)自靶表面零點(diǎn)幾納米的淺表層,可以認(rèn)為靶材濺射時(shí)原子是從表面開始剝離的。如果轟擊離子的能量不足,則只能使靶材表面的原子發(fā)生振動(dòng)而不產(chǎn)生濺射。如果轟擊離子能量很高時(shí),濺射的原子數(shù)與轟擊離子數(shù)之比值將減小,這是因?yàn)檗Z擊離子能量過(guò)高而發(fā)生離子注入現(xiàn)象的緣故。
網(wǎng)友評(píng)論
條評(píng)論
最新評(píng)論